公开(公告)号：WO2011070628A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：PCT/JP2009/006789

申请日：2009-12-11

Applicant: パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 ,  大塚正志

Inventor： 大塚正志

IPC: H01J31/28 ,  H01J29/48 ,  H01J29/74

CPC classification number: H01J31/127 ,  H01J29/06

Abstract: 　本発明は、開口率の低下を抑制しつつ電子ビームを適切に偏向することができる撮像装置を提供することを課題としている。 本発明の撮像装置（１）は、水平走査方向および垂直走査方向にマトリクス状に配置され、それぞれが画素を構成すると共に電子ビームを放射する複数の電子放出源（２３）と、水平走査方向の各画素列を挟んで垂直走査方向に交互に配置された複数の第１帯状電極（５４）および複数の第２帯状電極（５６）を有し、各画素列単位で電子ビームを垂直走査方向に偏向する第１偏向電極（５２）および第２偏向電極（５３）と、少なくとも第１偏向電極（５２）と第２偏向電極（５３）の間に正逆の電位差が生ずるように、第１偏向電極（５２）および第２偏向電極（５３）にそれぞれ偏向のための電圧を可変可能に印加する垂直偏向電源部（５８）と、を備えたことを特徴とする。

Abstract translation: 提供一种能够适当地偏转电子束同时抑制开口率的降低的图像拾取装置。 图像拾取装置（1）包括：多个电子发射源（23），其以水平扫描方向和垂直扫描方向排列成矩阵，每个构成像素，并且发射电子束; 第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53），其具有多个第一条形电极（54）和多个第二条形电极（56），所述第二条形电极（56）在相互相对的两侧沿垂直扫描方向交替设置 在每个像素线的基础上沿垂直扫描方向偏转电子束; 以及垂直偏转电源单元（58），用于向第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53）中的每一个可变地施加偏转电压，使得正向/反向电压差至少在第一偏转电极 （52）和第二偏转电极（53）。