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公开(公告)号：WO2015151172A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/JP2014/059492
申请日：2014-03-31
Applicant: パイオニア株式会社
CPC classification number: H01J9/18 , H01J29/82 , H01J29/86 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J31/128 , H01J37/073 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/061 , H01J2237/0635
Abstract: 本発明は、単純な構造で、面放出源アレイと加速電極との間の適切な平行度を得ることができる撮像装置およびその製造方法を提供することを課題としている。 本発明の撮像装置は、下部基板（２１）と、下部基板（２１）上に、可塑性を有するダイボンド材（２４）を介してマウントした電子放出源アレイ（２２）と、電子放出源アレイ（２２）を囲繞するように、下部基板（２１）上に設けた周壁部（６）と、周壁部（６）に設けた支持部（３１）にセットされ、電子放出源アレイ（２２）から放出された電子を加速する加速電極（５）と、を備え、電子放出源アレイ（２２）は、支持部（３１）により構成される仮想平面と平行になるように、マウントされている。
Abstract translation: 本发明解决了提供以下问题：图像拾取装置，其中以简单的结构在表面发射源阵列和加速电极之间实现了适当的平行度; 以及用于制造图像拾取装置的方法。 该图像拾取装置设置有：下基板（21）; 电子发射源阵列（22），其间具有管芯接合材料（24）安装在所述下基板（21）上，所述管芯接合材料具有可塑性; 设置在所述下基板（21）上的周壁部（6），使得所述周壁部围绕所述电子发射源阵列（22）; 以及设置在设置在周壁部（6）中的支撑部（31）并且加速从电子发射源阵列（22）发射的电子的加速电极（5）。 电子发射源阵列（22）安装成使得电子发射源阵列与由支撑部分（31）构成的虚拟平面平行。
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公开(公告)号：WO2016139724A1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：PCT/JP2015/056095
申请日：2015-03-02
Applicant: パイオニア株式会社
IPC: H01J31/28
CPC classification number: H01J31/28
Abstract: 撮像装置において、電子源が搭載された基板に設けられた電極に加速電極を電気的に接続することを容易にする。 第１基板（１００）には、リード電極（１２０）が設けられている。第１基板（１００）には、枠体（２００）が搭載されている。枠体（２００）の段差面（２０２）には、導電性部材（２１０）が配置されている。導電性部材（２１０）には、加速電極（２３０）が搭載されている。加速電極（２３０）は、導電性部材（２１０）と電気的に接続している。導電性部材（２１０）は、導電性膜（２２２）を介してリード電極（１２０）に電気的に接続している。
Abstract translation: 提供了一种成像装置，其中可以容易地将加速电极电连接到设置在其上安装有电子源的基板上的电极。 第一基板（100）设置有引线电极（120）。 框架（200）安装在第一基板（100）上。 导电构件（210）设置在框架（200）的台阶表面（202）上。 加速电极（230）安装在导电部件（210）上。 加速电极（230）与导电部件（210）电连接。 导电构件（210）通过导电膜（222）电连接到引线电极（120）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2011083512A1
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：PCT/JP2010/000069
申请日：2010-01-07
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 吉成正樹 , 秋山周哲 , 中井淳
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/467
Abstract: 本発明は、集束電極層（８）を設けても、ゲート電極層（６）および集束電極層が炭素層（１１）によって導通することのない面放出型の電子放出素子（１）およびこれを備えた撮像装置を提供することを課題としている。上記の課題の解決手段として、電子放出素子は、面放出部（９）から電子を放出する電子放出層（３）と、第１絶縁体層（５）を介して電子放出層の表面に成膜されたゲート電極層と、第２絶縁体層（７）を介してゲート電極層の表面に成膜され、放出された電子を集束させる集束電極層と、集束電極層、第２絶縁体層、ゲート電極層および第１絶縁体層を貫通して、面放出部の表面に凹状に開口する放出凹部（１０）と、集束電極層の表面から放出凹部の内周面に亘って成膜された炭素層と、を備え、炭素層は、第２絶縁体層の層端が臨む放出凹部の成膜部分に、環状の不連続部（１１ａ）を有している。
Abstract translation: 公开了一种表面发射型电子发射元件（1），其中即使在其中设置聚焦电极层（8）时，栅电极层（6）和聚焦电极层也不通过碳层（11 ）。 还公开了一种具有电子发射元件的图像拾取装置。 具体公开了一种电子发射元件，其具有：用于从表面发射部分（9）发射电子的电子发射层（3）。 形成在电子发射层的表面上的第一绝缘层（5）的栅极电极层; 聚焦电极层，其形成在所述栅极电极层的表面上，其间具有第二绝缘层（7），并且聚焦发射的电子; 穿过聚焦电极层，第二绝缘层，栅极电极层和第一绝缘层的发射凹部（10），并形成到表面发射部分的表面的凹形开口; 以及从聚焦电极层的表面到发光凹部的内表面形成的碳层。 碳层在发光凹部的成膜部分具有环形不连续部分（11a），第二绝缘层的层端面朝向该环状不连续部分。
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公开(公告)号：WO2011074038A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/JP2009/006958
申请日：2009-12-17
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 吉成正樹
Inventor： 吉成正樹
CPC classification number: H01J29/04 , H01J29/467 , H01J29/481 , H01J31/127 , H01J2329/4604 , H01J2329/4669
Abstract: 本発明は、集束電極層（６）を設けても、ゲート電極層（８）および集束電極層が炭素層（１１）によって導通することのない面放出型の電子放出素子（１）およびこれを備えた撮像装置を提供することを課題としている。上記の課題の解決手段として、電子放出素子に、面放出部（９）から電子を放出する電子放出層（３）と、第１絶縁体層（５）を介して電子放出層の表面に成膜され、放出された電子を集束させる集束電極層と、第２絶縁体層（７）を介して、集束電極層の表面に成膜されたゲート電極層と、ゲート電極層、第２絶縁体層、集束電極層および第１絶縁体層を貫通して、面放出部の表面に凹状に開口する放出凹部（１０）と、ゲート電極層の表面から放出凹部の内周面に亘って成膜された炭素層と、集束電極層と炭素層とを絶縁する部分絶縁部（１２ｂ）と、を備えた。
Abstract translation: 公开了一种表面发射型电子发射元件（1），其中即使在其中设置聚焦电极层（6）时，栅电极层（8）和聚焦电极层也不通过碳层（11）电连接 ）。 还公开了一种具有电子发射元件的图像拾取装置。 具体公开了一种电子发射元件，其具有：用于从表面发射部分（9）发射电子的电子发射层（3）。 在电子发射层的表面上形成有第一绝缘层（5）并聚焦发射的电子的聚焦电极层; 形成在聚焦电极层的表面上的第二绝缘层（7）的栅极电极层; 穿过所述栅电极层，所述第二绝缘层，所述聚焦电极层和所述第一绝缘层的发射凹部（10），并且在所述表面发射部分的表面上形成凹形开口; 由所述栅电极层的表面到所述排出凹部的内表面形成的碳层; 以及用于将聚焦电极层与碳层绝缘的部分绝缘部分（12b）。
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公开(公告)号：WO2014170925A1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：PCT/JP2013/002572
申请日：2013-04-16
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
CPC classification number: H01J31/123 , H01J2231/125
Abstract: 本発明は、可動部分を必要とすることなく、高解像度化を図ることができる電子放出素子及びこれを備えた撮像装置（１）であり、複数の電子放出源（２３）をマトリクス状に配置した電子放出部（２）と、電子放出部（２）に対し電子放出方向に離間して配置され、複数の電子放出源（２３）における複数の行方向アレイに対応して設けた複数の行方向電極（５２）と、電子放出部（２）に対し電子放出方向に離間して配置され、複数の電子放出源（２３）における複数の列方向アレイに対応して設けた複数の列方向電極（５４）と、複数の行方向電極（５２）及び複数の列方向電極（５４）に対し選択的に電圧を印加する電界制御部（５７）と、を備えたものである。
Abstract translation: 本发明是能够提高分辨率而不需要可动部件的电子发射元件，以及设置有所述电子发射元件的图像捕获装置。 图像捕获装置（1）包括：电子发射单元（2），其中多个电子发射源（23）以矩阵形式布置; 多个沿电子发射方向与电子发射单元（2）分离的行方向电极（52），并且设置成与多个行方向阵列 电子发射源（23）; 多个列方向电极（54），被布置成在电子发射方向上与电子发射单元（2）分离，并且被设置为对应于多个列中的各个列方向阵列 电子发射源（23）; 以及选择性地对多个行方向电极（52）和多个列方向电极（54）施加电压的电场控制部（57）。
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公开(公告)号：WO2011070628A1
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：PCT/JP2009/006789
申请日：2009-12-11
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 大塚正志
Inventor： 大塚正志
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/06
Abstract: 本発明は、開口率の低下を抑制しつつ電子ビームを適切に偏向することができる撮像装置を提供することを課題としている。 本発明の撮像装置（１）は、水平走査方向および垂直走査方向にマトリクス状に配置され、それぞれが画素を構成すると共に電子ビームを放射する複数の電子放出源（２３）と、水平走査方向の各画素列を挟んで垂直走査方向に交互に配置された複数の第１帯状電極（５４）および複数の第２帯状電極（５６）を有し、各画素列単位で電子ビームを垂直走査方向に偏向する第１偏向電極（５２）および第２偏向電極（５３）と、少なくとも第１偏向電極（５２）と第２偏向電極（５３）の間に正逆の電位差が生ずるように、第１偏向電極（５２）および第２偏向電極（５３）にそれぞれ偏向のための電圧を可変可能に印加する垂直偏向電源部（５８）と、を備えたことを特徴とする。
Abstract translation: 提供一种能够适当地偏转电子束同时抑制开口率的降低的图像拾取装置。 图像拾取装置（1）包括：多个电子发射源（23），其以水平扫描方向和垂直扫描方向排列成矩阵，每个构成像素，并且发射电子束; 第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53），其具有多个第一条形电极（54）和多个第二条形电极（56），所述第二条形电极（56）在相互相对的两侧沿垂直扫描方向交替设置 在每个像素线的基础上沿垂直扫描方向偏转电子束; 以及垂直偏转电源单元（58），用于向第一偏转电极（52）和第二偏转电极（53）中的每一个可变地施加偏转电压，使得正向/反向电压差至少在第一偏转电极 （52）和第二偏转电极（53）。
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公开(公告)号：WO2011021303A1
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：PCT/JP2009/064639
申请日：2009-08-21
Inventor： 奥田 義行
Abstract: 電子放出源アレイと光電変換膜の中間に設けられた中間電極と、電子放出源アレイから光電変換膜に向けて電子放出がなされる際に、中間電極に流れる中間電極電流を検出する中間電極電流検出部と、中間電極電流を時間完全積分して積分信号を生成する中間電流完全積分器と、画素領域の各々に電子を供給する画素期間ごとに積分信号をサンプリングして中間電極信号を生成する中間電極信号生成器と、を有する。
Abstract translation: 一种成像装置，包括设置在电子发射源阵列和光电转换膜之间的中间电极的中间电极;中间电极电流检测单元，用于当从电子发射源阵列向电子发射源阵列发射电子时，检测流过中间电极的中间电极电流 光电转换膜，用于通过对中间电极电流进行时间和完全积分来产生积分信号的中间电流完全积分器，以及用于通过在每个像素周期中采样积分信号来产生中间电极信号的中间电极信号发生器，其中电子 被提供给各个像素区域。
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