公开(公告)号：WO2008146624A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：PCT/JP2008/059034

申请日：2008-05-16

Applicant: ローム株式会社 ,  吉川 泰弘 ,  田尻 浩之

Inventor： 吉川 泰弘 ,  田尻 浩之

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/084 ,  Y10T29/49139

Abstract: 　高い検出感度を有するとともに、製造効率を向上させることが可能な加速度センサを提供する。この加速度センサ（５０）は、Ａｌ ２ Ｏ ３ からなるセラミック基板（１）と、セラミック基板（１）上の所定領域に、スクリーン印刷法によって形成されたＢａＴｉＯ ３ からなる強誘電体層（２）と、強誘電体層（２）と対向するように配置され、強誘電体層（２）から所定の距離ｄだけ隔てて形成されたプルーフマス（４）と、このプルーフマス（４）の強誘電体層（２）側に固定されるようにそれぞれ形成された第１電極（７）および第２電極（８）とを備えている。そして、第１電極（７）および第２電極（８）は、それぞれ、櫛歯状に形成されているとともに、互いの櫛歯部（７ａ）および（８ａ）が交互に配列されている。

Abstract translation: 提供了一种具有高检测灵敏度并且可以以提高的制造效率制造的加速度传感器。 加速度传感器（50）具有由Al 2 O 3构成的陶瓷基板（1） 通过丝网印刷在陶瓷基板（1）上的规定区域中由BaTiO 3形成的铁电体层（2） 被配置为与强电介质层（2）规定的距离（d）相对的铁电体层（2）的检验质量块（4）。 以及第一电极（7）和第二电极（8），所述第一电极（7）和第二电极（8）固定在所述强电介质层（2）一侧的所述检测质量块（4）上。 交叉地形成第一电极（7）和第二电极（8），电极的叉指部（7a，8a）交替排列。

公开(公告)号：WO2006123788A1

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：PCT/JP2006/310053

申请日：2006-05-19

Applicant: ローム株式会社 ,  吉川 泰弘 ,  田尻 浩之

Inventor： 吉川 泰弘 ,  田尻 浩之

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81C1/00476 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0127 ,  B81C2201/0132 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0891 ,  G01P15/125 ,  G11B19/042 ,  G11B19/043

Abstract: 　ＭＥＭＳ素子（Ａ１）は、基板（１）と、この基板（１）上に形成された第１電極（２）を備える。さらにＭＥＭＳ素子（Ａ１）は、上記第１電極（２）と離間し且つ対向する可動部（３１）を有する第２電極（３）を備えている。上記可動部（３１）には、複数の貫通孔（３１ａ）が形成されている。各貫通孔（３１ａ）の断面は、たとえば矩形である。

Abstract translation: MEMS元件（A1）设置有基板（1）和形成在基板（1）上的第一电极（2）。 此外，MEMS元件（A1）设置有第二电极（3），具有与第一电极（2）分离并面对第一电极的可动部（31）。 在可动部（31）上形成有多个通孔（31a）。 每个通孔（31a）的横截面为例如矩形。