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1.複合酸化物膜およびその製造方法、複合酸化物膜を含む誘電材料、圧電材料、コンデンサ、圧電素子並びに電子機器 审中-公开
Title translation: 复合氧化物膜及其制造方法,包括复合氧化膜的电介质材料,压电材料,电容器,压电元件和电子器件公开(公告)号:WO2007013596A1
公开(公告)日:2007-02-01
申请号:PCT/JP2006/314997
申请日:2006-07-28
CPC classification number: H01B3/10 , C04B35/4682 , C04B2235/72 , C23C18/1216 , C23C18/1241 , H01G7/06 , H01L41/1871 , H01L41/317 , Y10T428/256 , Y10T428/266
Abstract: 本発明は、基体表面に湿式処理を用いて複合酸化物膜を形成し、この複合酸化物膜をpH5以下の酸性溶液で洗浄することにより、複合酸化物膜中の炭酸塩を低減させた比誘電率が高い複合酸化物膜とその製造方法に関する。さらに、本発明の複合酸化物膜を含む誘電材料および圧電材料、およびこの材料を含むコンデンサ、圧電素子並びにこれらの素子を含む電子機器を提供する。
Abstract translation: 公开了一种具有高相对介电常数的复合氧化物膜,其中通过湿法处理在基体的表面上形成复合氧化膜而还原碳酸盐,并用pH不大的酸性溶液清洗由此形成的复合氧化物膜 还公开了制造这种复合氧化物膜的方法。 还公开了包括这种复合氧化物膜,电容器元件和包含这种材料的压电元件的电介质材料和压电材料,以及包括这种元件的电子器件。
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公开(公告)号:WO2009051133A1
公开(公告)日:2009-04-23
申请号:PCT/JP2008/068647
申请日:2008-10-15
CPC classification number: H01G9/035 , H01G4/1218 , H01G4/30 , H01G9/0032 , H01G9/07 , H01G9/145 , H05K1/162 , H05K2203/0315 , Y10T29/417
Abstract: 耐電圧が高く、リーク電流の小さいコンデンサを製造できるコンデンサの製造方法が提供される。そのようなコンデンサの製造方法は、一方の電極である基体と、基体上に形成された誘電体層と、誘電体層上に形成された他方の電極とを備えるコンデンサの製造方法であって、チタンまたはチタン合金からなる基体を、過酸化水素を含む3°C以下の温度の電解液中で陽極酸化することにより、基体上に誘電体層となる非晶質なチタン酸化物層を形成する工程と、誘電体層上に他方の電極を形成する工程とを備える。
Abstract translation: 公开了一种电容器制造方法,其可以制造具有高耐受电压和低漏电流的电容器。具体公开了一种电容器的制造方法,该电容器包括:作为电极之一的基板,形成在基板上的电介质层和 形成在电介质层上的电极中的另一个。 该方法包括以下步骤:在含有过氧化氢并具有3℃或更低的温度的电解质溶液中阳极氧化包含钛或钛合金的衬底,从而形成用作介电层的非晶氧化钛层 基质; 以及在电介质层上形成另一个电极。
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