公开(公告)号：WO2005085757A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：PCT/JP2005/002866

申请日：2005-02-23

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  安見 正博 ,  小牧 一樹 ,  村嶋 祐二 ,  中村 友騎 ,  川崎 哲生

Inventor： 安見 正博 ,  小牧 一樹 ,  村嶋 祐二 ,  中村 友騎 ,  川崎 哲生

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

Abstract: 　基板は、互いに平行に延びる複数のアーム部と、複数のアーム部のそれぞれに一端を連結する連結部とを有する音叉形状の単結晶シリコンよりなる。角速度センサは、その基板のそれぞれの複数のアーム部上に設けられた酸化シリコンを含むバリア層と、バリア層上に設けられたチタンを含む第１の密着層と、第１の密着層上に設けられた、チタンと酸化チタンのうちの少なくとも１つと白金とを含む第1の電極層と、第１の電極層上に設けられた配向制御層と、配向制御層上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２の密着層と、第２の密着層上に設けられた第２の電極層とを備える。その角速度センサは小型で、安定したセンサ特性を有する。

Abstract translation: 一个板由音叉形单晶硅制成，具有彼此平行延伸的多个臂部分，以及用于将一个边缘与多个臂部分中的每一个连接的连接部分。 角速度传感器设置有阻挡层，其包括设置在板的每个臂部上的氧化硅，设置在阻挡层上并包括钛的第一紧密接触层，设置在第一电极层上的第一电极层 所述第一紧密接触层并且至少包括钛或氧化钛和铂，设置在所述第一电极层上的取向控制层，设置在所述取向控制层上的压电层，设置在所述压电层上的第二紧密接触层，以及 设置在第二紧密接触层上的第二电极层。 角速度传感器小，传感器特性稳定。

公开(公告)号：WO2006090618A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：PCT/JP2006/302619

申请日：2006-02-15

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  中村 友騎 ,  村嶋 祐二 ,  安見 正博 ,  小牧 一樹

Inventor： 中村 友騎 ,  村嶋 祐二 ,  安見 正博 ,  小牧 一樹

IPC: H01L41/22 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/257 ,  H01L41/314 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 　製造工程の途中における圧電薄膜層への不要な電界の発生を防止することにより高い圧電特性を確保することができる圧電素子の製造方法が開示されていて、この圧電素子の製造方法は、基板の上に下部電極層、圧電薄膜層および上部電極層を順次積層する第１の工程と、エッチングにドライエッチングを含んでエッチング処理する第２の工程と、下部電極層と上部電極層との間に電圧を印加して分極処理する第３の工程と、それぞれの圧電素子に個片化処理する第４の工程と、を含む圧電素子の製造方法であって、少なくともドライエッチングを行うときに下部電極層と上部電極層とを短絡保持する。

Abstract translation: 一种用于制造压电元件的方法，其能够通过在制造过程中防止在压电薄膜层中产生不必要的电场而确保高的压电特性。 压电元件的制造方法包括：在基板上依次沉积下电极层，压电薄膜层和上电极层的第一步骤，用于进行包括干蚀刻的蚀刻的第二步骤， 在下电极层和上电极层之间施加电压，以及第四步骤，用于分割成各个压电元件，其中至少在进行干蚀刻时，下电极层和上电极层保持在短路状态。

公开(公告)号：WO2008059781A1

公开(公告)日：2008-05-22

申请号：PCT/JP2007/071891

申请日：2007-11-12

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  岡本 庄司 ,  安見 正博 ,  中村 友騎 ,  大内 智 ,  林 道彦

Inventor： 岡本 庄司 ,  安見 正博 ,  中村 友騎 ,  大内 智 ,  林 道彦

IPC: H01L41/09 ,  G01C19/56 ,  H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/29 ,  Y10T29/42

Abstract: 電極部が形成された素子を備え、電極部は圧電体（７０）を介在させた上部電極（７４）および下部電極（７２）と、上部電極（７４）と圧電体（７０）との間に積層した密着層（７６）とを有し、圧電体（７０）は鉛を含有する圧電材料からなる圧電層（８０）を有し、密着層（７６）はタングステンを主成分とするタングステン層を有し、圧電層（８０）と前記タングステン層とを積層することにより、温度上昇による圧電定数の低下や基点電圧の変動を抑制できる。

Abstract translation: 本发明提供一种电子部件，其包括具有电极部件的元件。 电极部分包括上电极（74），下电极（72），设置在上电极（74）和下电极（72）之间的压电体（70），以及粘合层 上电极（74）和压电体（70）。 压电体（70）包括由含铅压电材料形成的压电层（80）。 粘合层（76）包括主要由钨构成的钨层。 压电层（80）和钨层叠在一起可以抑制温度升高和基点电压变化时的压电常数降低。