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公开(公告)号：WO2011001635A1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：PCT/JP2010/004183
申请日：2010-06-23
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ , 山口敦子 , 桃井義典 , 田中潤一 , 川田洋揮
IPC: G01B15/04 , G01N23/225 , H01L21/66
CPC classification number: H01J37/28 , G01B2210/56 , G02B21/002 , G02B21/361 , G02B21/365 , G02B21/367 , G06T5/50 , G06T7/0004 , G06T7/0006 , G06T7/0008 , G06T7/001 , G06T2207/10016 , G06T2207/10056 , G06T2207/10061 , G06T2207/20081 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148 , H01J37/244 , H01J2237/24578 , H01J2237/24592 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 電子顕微鏡で得られる一視野の中の試料像内において、測定パターン下層の材料・構造に起因したエッジ位置計測誤差の変動を抑制することができる半導体検査装置および半導体検査装置の検査方法を提供するために、第１の方法として、電子線を走査して得られる視野内の観察対象の構造や材料の情報に基づいて、視野内を複数の領域に分割し、領域毎に電子線の走査条件を変える(８０５，８０６)、第２の方法として、取得した画像に対して分割された領域毎に画像処理条件を変える、第３の方法として、取得した画像のエッジ検査領域において分割された領域毎にエッジ検出条件を変える。
Abstract translation: 提供一种半导体检查装置和半导体检查方法，使得在通过电子显微镜获得的单个视场中的样本图像中，可以抑制归因于下部的材料和结构的边缘位置测量误差的变化 通过第一方法测量图案层，其中通过电子束扫描获得的视野中的区域基于关于待观察物体的结构和材料的信息以及电子束扫描被分成多个区域 对于各个区域（805,806）的条件改变，第二种方法，其中，针对由所获得的图像的划分产生的各个区域改变图像处理条件，或者第三种方法，其中针对各个区域改变边缘检测条件 由获得的图像的边缘检查区域内的划分产生。
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公开(公告)号：WO2011148975A1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/JP2011/061978
申请日：2011-05-25
IPC: H01J37/22 , G01B15/00 , G01B15/06 , H01J37/147 , H01J37/28
CPC classification number: G01B15/00 , G06K9/6201 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826 , Y10T428/24355
Abstract: 本発明は、高速且つ高精度に、視野内の歪みを測定、或いは評価する画像処理装置、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。上記目的を達成するために、撮像対象の第１の領域の第１の画像と、当該第１の領域とその位置が異なると共にその一部が重畳する第２の領域の第２の画像を取得し、第２の画像内の測定点と、第２の画像内の特定領域に相当する第２の部分との間の距離を、第１の画像と第２の画像の重畳領域の複数の部位について求めることを特徴とする画像処理装置等を提案する。
Abstract translation: 公开了一种图像处理装置和带电粒子束装置，其可以快速且精确地测量或评估视场内的失真。 为了实现该目的，提供了一种图像处理装置，其获取与第一区域不同的位置并且与其部分地重叠的要被捕获的被摄体的第一区域的第一图像和具有不同位置的第二区域的第二图像， 并且对于第一图像和第二图像的叠加区域的多个位置，导出第二图像内的测量点与对应于第二图像内的指定区域的第二分量之间的距离。
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