公开(公告)号：WO2019055476A2

公开(公告)日：2019-03-21

申请号：PCT/US2018/050602

申请日：2018-09-12

申请人： CELLENCOR, INC.

发明人： KAPLAN, Kenneth

IPC分类号： H05B6/68 ,  H05B6/70

CPC分类号： H01J37/32201 ,  H01J37/244 ,  H01J37/32311 ,  H03F3/19 ,  H03F3/21 ,  H05B6/686 ,  H05B6/705

摘要： A microwave generating system includes a modular architecture which is configurable to provide power output from under 1-kilowatt to over 100-kilowatts. The various power levels are achieved by combining the RF outputs of multiple RF power amplifiers in a corporate structure. The system can be used on any ISM band. Each system component incorporates a dedicated embedded microcontroller for high performance real-time control response. The components are connected to a high speed digital data bus, and are commanded and supervised by a control program running on a host computer.

公开(公告)号：WO2018183096A1

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：PCT/US2018/023910

申请日：2018-03-23

申请人： KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： ANANTHA, Vidyasagar ,  YATI, Arpit ,  PARAMASIVAM, Saravanan ,  PLIHAL, Martin ,  LIN, Jincheng

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

摘要： Use of care areas in scanning electron microscopes or other review tools can provide improved sensitivity and throughput. A care area is received at a controller of a scanning electron microscope from, for example, an inspector tool. The inspector tool may be a broad band plasma tool. The care area is applied to a field of view of a scanning electron microscope image to identify at least one area of interest. Defects are detected only within the area of interest using the scanning electron microscope. The care areas can be design-based or some other type of care area. Use of care areas in SEM tools can provide improved sensitivity and throughput.

公开(公告)号：WO2017183168A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：PCT/JP2016/062697

申请日：2016-04-22

申请人： 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

发明人： 庄子　美南 ,  津野　夏規 ,  大南　祐介

IPC分类号： H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244

摘要： 本発明は、大気中で二次電子像観察が可能な電子顕微鏡および観察手法を提供する。　より具体的には、本発明の荷電粒子顕微鏡は、荷電粒子光学鏡筒（２）内部の真空空間から試料が載置される非真空空間を分離する隔壁（３１）と、上部電極（３５）と、試料（１００）が載置される下部電極（５）と、上部電極または下部電極の少なくともいずれか一方に電圧を印加する電源（２１）と、試料と前記隔壁の間隔を調整する試料ギャップ調整機構（９）と、下部電極に吸収された電流に基づいて前記試料の画像を形成する画像形成部（１５）と、を有する。上部電極と下部電極の間に電圧を印加した際に発生する気体分子と電子の電離衝突による増幅効果を利用して二次電子を選択的に計測する。検出方式は下部電極に流れた電流値を計測する手法を用いる。

摘要翻译： 本发明提供了一种能够观察大气中的二次电子图像的电子显微镜和观察方法。 更具体地，本发明的带电粒子显微镜，带电粒子光学柱（2）和所述分隔壁（31）分离，其将样品从真空空间的内部放置非真空的空间，上部电极（35） 当样品（100）下部电极被放置（5），样品间隙调节用于将至少在所述上电极中的一个的电压或下部电极，样品和分隔壁之间的间距的电源（21） 调整机构（9）和图像形成单元（15），用于基于由下电极吸收的电流来形成样本的图像。 通过利用在上电极和下电极之间施加电压时产生的气体分子和电子的电离碰撞的放大效应来选择性地测量二次电子。 在检测方法中，使用测量在下电极中流动的电流值的方法。

公开(公告)号：WO2017095908A1

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：PCT/US2016/064195

申请日：2016-11-30

申请人： HERMES MICROVISION INC. ,  WEIMING, Ren ,  XUEDONG, Liu ,  XUERANG, Hu ,  ZHONGWEI, Chen

发明人： WEIMING, Ren ,  XUEDONG, Liu ,  XUERANG, Hu ,  ZHONGWEI, Chen

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/10 ,  H01J37/153

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/153 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2817

摘要： A secondary projection imaging system in a multi-beam apparatus is proposed, which makes the secondary electron detection with high collection efficiency and low cross¬ talk. The system employs one zoom lens, one projection lens and one anti-scanning deflection unit. The zoom lens and the projection lens respectively perform the zoom function and the anti-rotating function to remain the total imaging magnification and the total image rotation with respect to the landing energies and/or the currents of the plural primary beamlets. The anti- scanning deflection unit performs the anti- scanning function to eliminate the dynamic image displacement due to the deflection scanning of the plural primary beamlets.

摘要翻译： 本文提出了一种多光束设备中的二次投影成像系统，该系统使二次电子检测具有较高的收集效率和较低的杂交能力， 谈论。 该系统采用一个变焦镜头，一个投影镜头和一个反扫描偏转单元。 变焦镜头和投影镜头分别执行变焦功能和防旋转功能，以保持相对于多个一次子光束的着落能量和/或电流的总成像倍率和总图像旋转。 防扫描偏转单元执行防扫描功能以消除由于多个主小射束的偏转扫描引起的动态图像位移。

公开(公告)号：WO2017089517A1

公开(公告)日：2017-06-01

申请号：PCT/EP2016/078771

申请日：2016-11-25

申请人： EMPA EIDGENÖSSISCHE MATERIALPRÜFUNGS- UND FORSCHUNGSANSTALT

发明人： BLEINER, Davide ,  ARBELO-PENA, Yunieski

IPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/227 ,  H01J37/285

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/227 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2855

摘要： The disclosed invention consists of a detector supplement device (4) for integration in a spectroscopy setup (0), wherein the spectroscopy setup (0) comprises a vacuum chamber (1), a light source (2), a sample (3) irradiating a reflected photon beam (30) and a charged particle beam (31) in the same direction of propagation into a radiation detector (5), which is able to detect ultrafast electric currents originating from charged particles. This is achieved introducing the detector supplement device (4) comprising a Rogowski coil (40) placeable inside the vacuum chamber (1) between sample (3) and radiation detector (5), wherein the charged particle beam (31) is guided through the hollow core of the Rogowski coil (40) allowing synchronized measurements of electrical currents due to the charged particle beam (31) correlated to the reflected photon beam (30), while irradiation of the reflected photon beam (30) and the charged particle beam (31) takes place in the same direction of propagation.

摘要翻译： 所公开的发明由用于集成在光谱设置（0）中的检测器补充设备（4）组成，其中光谱设置（0）包括真空室（1），光源（2） ），以相同的传播方向将反射光子束（30）和带电粒子束（31）照射到能够检测源自带电粒子的超快电流的放射线检测器（5）中的样品（3）。 这是通过在样品（3）和辐射探测器（5）之间引入包括可置于真空室（1）内的罗柯夫斯基线圈（40）的探测器补充装置（4）来实现的，其中带电粒子束（31） 罗戈夫斯基线圈（40）的中空核心允许由反射光子束（30）相关的带电粒子束（31）引起的电流的同步测量，同时反射光子束（30）和带电粒子束 31）发生在相同的传播方向。

公开(公告)号：WO2016199271A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/JP2015/066875

申请日：2015-06-11

申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： 小林　寛司 ,  唐鎌　章 ,  佐藤　典夫

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24

CPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/24507

摘要： 本発明の荷電粒子線装置（１）は、ステージ（１３）を駆動するステージ駆動部（１４）と、試料（ＳＡＭＰ）から放出される荷電粒子を検出する検出器（１６）と、前記検出器からの信号を第１画像転送プロトコルを用いて転送する第１画像転送部（２０）と、前記検出器からの信号を第２画像転送プロトコルを用いて転送する第２画像転送部（２１）と、前記ステージの状態に基づいて前記第１画像転送部と前記第２画像転送部とを切り換えて使用する切換部（２３）とを備える。前記第１画像転送プロトコルは前記第２画像転送プロトコルよりも信頼性が高く、前記第２画像転送プロトコルは前記第１画像転送プロトコルよりも転送速度が速い。ステージの状態に応じて、複数の画像転送部を切換使用することにより、ステージ移動に対する追従性と、通信の耐障害性が向上する。

摘要翻译： 该带电粒子束装置（1）包括：用于驱动级（13）的级驱动器（14）; 用于检测从样品（SAMP）释放的带电粒子的检测器（16）; 第一图像传送单元（20），用于使用第一图像传送协议传送来自检测器的信号; 第二图像传送单元（21），用于使用第二图像传送协议传送来自检测器的信号; 以及用于根据舞台的状态通过切换它们来使用第一图像转印单元或第二图像转印单元的开关单元（23）。 第一图像传输协议比第二图像传输协议更可靠，而第二图像传输协议的传输速度比通过第一图像传送协议更快。 通过根据舞台的状态通过切换而使用多个图像传送单元提高了通信故障阻抗和跟踪舞台移动的能力。

公开(公告)号：WO2016178283A1

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：PCT/JP2015/063145

申请日：2015-05-01

申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： 利根　正純 ,  任田　浩 ,  大西　富士夫

IPC分类号： H01J37/248 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/241 ,  H01J37/08 ,  H01J37/18 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/248 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2448

摘要： イオンポンプを備えた荷電粒子線装置において、イオンポンプの電源の低周波ノイズを十分に低減して真空度を高精度に計測することを可能にする。イオンポンプ（２）の駆動電源部（１）を、イオンポンプ（２）を作動させる高圧電源回路部（１０１－１１２）と、イオンポンプ（２）に印加される負荷電流を検出する負荷電流検出回路部（１３０）と、負荷電流検出回路部（１３０）に加わる低周波ノイズを低減するキャンセラ回路部（１４０）とを備えて構成する。

摘要翻译： 在设置有离子泵的带电粒子束装置中，离子泵的电源的低频噪声被充分地降低，能够精确地测量真空度。 离子泵（2）的驱动电源单元（1）被构造成包括：操作离子泵（2）的高压电源电路单元（101-112）; 负载电流检测电路单元，用于检测施加到所述离子泵（2）的负载电流; 以及降低施加到负载电流检测电路单元（130）的低频噪声的消除电路单元（140）。

公开(公告)号：WO2016124648A1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：PCT/EP2016/052291

申请日：2016-02-03

申请人： CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

发明人： ZEIDLER, Dirk ,  SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/09 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/10 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/2857

摘要： Beschrieben ist ein Teilchenstrahl-System mit einer Teilchenquelle (301), welche dazu konfiguriert ist, einen ersten Strahl (309) geladener Teilchen zu erzeugen. Das Teilchenstrahl-System weist einen Vielstrahlerzeuger (305) auf, der dazu konfiguriert ist, aus einem ersten einfallenden Strahl geladener Teilchen eine Mehrzahl von Teilstrahlen (13) zu erzeugen, die in einer Richtung senkrecht zu einer Ausbreitungsrichtung der Teilstrahlen räumlich voneinander beabstandet sind, wobei die Mehrzahl an Teilstrahlen mindestens einen ersten Teilstrahl und einen zweiten Teilstrahl umfasst. Das Teilchenstrahl-System weist ein Objektiv (102) auf, das dazu konfiguriert ist, einfallende Teilstrahlen in einer ersten Ebene zu fokussieren, derart, dass ein erster Bereich, auf den der erste Teilstrahl in der ersten Ebene einfällt, von einem zweiten Bereich getrennt ist, auf den ein zweiter Teilstrahl einfällt. Das Teilchenstrahl-System weist ein Detektorsystem mit mehreren Detektionsbereichen (209) und einem Projektivsystem (205) auf, wobei das Projektivsystem dazu konfiguriert ist, Wechselwirkungsprodukte, die die erste Ebene aufgrund der einfallenden Teilstrahlen verlassen, auf das Detektorsystem zu projizieren. Das Projektivsystem und die mehrerer Detektionsbereiche sind so aufeinander abgestimmt sind, dass Wechselwirkungsprodukte, die von dem ersten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen ersten Detektionsbereich des Detektorsystems projiziert werden und Wechselwirkungsprodukte, die von dem zweiten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen zweiten Detektionsbereich projiziert werden, der vom ersten Detektionsbereich verschiedenen ist. Weiterhin weist das Detektorsystem eine Filtereinrichtung (208) zur Filterung der Wechselwirkungsprodukte entsprechend ihres jeweiligen Bahnverlaufs auf.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有粒子源（301），其被配置成产生带电粒子的第一光束（309）的粒子射线系统。 在粒子束系统包括：被配置成生成带电粒子的第一入射光束的多束发生器（305），多个分光束（13），其被间隔开的方向垂直于该部分光束的传播方向空间上彼此， 至少包括所述多个子光束的第一分光束和第二部分光束。 该粒子束系统包括透镜（102），其被配置成聚焦入射分光束在第一平面中，使得在其上的第一部分光束入射到所述第一电平的第一区域，从第二区域分隔 ，接着的第二部分光束入射。 在粒子束系统包括具有多个检测区域（209）和一个投影系统（205），其中，所述投影系统被配置为在离开所述第一平面由于入射子光束被投射到所述检测器系统相互作用产物的检测器系统。 投影系统和所述多个检测区域协调，使得相互作用产物，从所述第一平面的第一部分延伸的被投影在检测器系统和相互作用产物的第一检测区域中，从第一平面的第二部分上的第二检测区域延伸 被投影，其是从所述第一检测区域不同。 此外，检测器系统包括：用于根据其各自的轨迹过滤所述相互作用产物的过滤装置（208）。

公开(公告)号：WO2016124440A1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：PCT/EP2016/051532

申请日：2016-01-26

申请人： TRUMPF HUETTINGER SP. Z O. O.

发明人： LACH, Piotr ,  ZELECHOWSKI, Marcin

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/34 ,  C23C14/00 ,  C23C14/54 ,  H02H1/00 ,  G01R31/12

CPC分类号： H01J37/3476 ,  G01R31/1254 ,  H01J37/241 ,  H01J37/244 ,  H01J37/32944 ,  H01J37/3444 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/3322

摘要： An arc treatment device (14) comprises: a. An arc detection device (21) detecting an arc being present in a plasma chamber (30); b. An arc energy determination device (22) for determining an arc energy value which is a value corresponding to the energy supplied to the plasma chamber (30) while the arc is present in the plasma chamber (30); c. A break time determination device (24) for determining a break time from the determined arc energy value.

摘要翻译： 电弧处理装置（14）包括：a。 检测存在于等离子体室（30）中的电弧的电弧检测装置（21）; 湾 电弧能量确定装置（22），用于在电弧存在于等离子体室（30）中的同时，确定作为与等离子体室（30）供应的能量对应的值的电弧能量值; C。 一种用于根据所确定的电弧能量值确定断裂时间的断裂时间确定装置（24）。

公开(公告)号：WO2016121471A1

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：PCT/JP2016/050597

申请日：2016-01-12

申请人： 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

发明人： 福地　邦昭 ,  東　淳三 ,  増田　祥 ,  富松　聡

IPC分类号： H01J37/22 ,  G01N23/14 ,  G01N23/225 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC分类号： G01N23/12 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

摘要： 　本発明の目的は、分析画像の取得時間を大幅に低減することに関する。本発明は、加工面の二次粒子像と分析画像の相関に基づき、所望の加工面の二次粒子像（１１１－１１４）から分析画像を擬似的に形成することに関する。好ましくは、実際に取得された分析画像（１２１－１２２）と、擬似的に形成された分析画像（１３１－１３２）に基づき、三次元像を再構築する。本発明によれば、加工面ごとに分析画像を取得すること無く、三次元再構成に必要な多数の分析画像を短時間で取得できるため、解析効率が向上する。また、試料への電子ビームによるダメージを低減でき、解析の信頼性も向上する。

摘要翻译： 本发明的目的在于显着缩短获取分析图像的时间。 本发明涉及根据处理用面的二次粒子图像与分析图像之间的相关关系，从期望的处理面的二次粒子图像（111-114）人工形成分析图像。 优选地，基于实际获取的分析图像（121-122）和人为形成的分析图像（131-132）重建三维图像。 根据本发明，提高分析效率，以便能够在短时间内获取三维重建所需的多个分析图像，而无需获取每个处理表面的分析图像。 此外，由于电子束对样品的损害减小，分析的可靠性提高。