Ti₂AlN 벌크소재의 제조방법 및 마이크로 방전가공 방법
    2.
    发明申请
    Ti₂AlN 벌크소재의 제조방법 및 마이크로 방전가공 방법 审中-公开
    制备TI2ALN大容量材料的方法和微电子放电加工方法

    公开(公告)号:WO2014104461A1

    公开(公告)日:2014-07-03

    申请号:PCT/KR2013/000232

    申请日:2013-01-11

    Abstract: 본 발명은 MAX 상(Phases) Ti 2 AlN 벌크소재를 제공하고, 그에 대한 미세 가공을 제공하고자 한다. 본 발명은, 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 그리고 질화티탄(TiN) 분말을 Ti:Al:TiN=1:1:1의 비율로 마멸 밀링기(attrition milling machine)에서 혼합 및 합성하고, 합성된 분말은 방전 플라즈마 소결로를 이용하여 플라즈마 소결하여 MAX 상(Phases) Ti 2 AlN 벌크소재를 제조하는 방법을 제시하며, 제조된 Ti 2 AlN 벌크소재에, 마이크로 방전가공을 적용해 수십 내지 수백 μm 직경을 갖는 미세형상 가공을 고정밀도를 갖는 동시에 신속하게 실시할 수 있는 가공방법을 제시하였다.

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于所述材料的MAX相Ti2AlN块状材料和微加工方法。 本发明提出了通过以Ti:Al:TiN = 1:1:1的比例混合并合成钛(Ti)粉末,铝(Al)粉末和氮化钛(TiN)粉末)制备MAX相Ti2AlN体材料的方法。 通过磨耗铣床,并使用放电等离子体烧结炉等离子体烧结合成粉末。 本发明还提出了一种对制备的Ti2AlN材料进行微放电加工的加工方法,以便对直径为几十到几百μm的高精度微结构进行快速加工。

    나노결정 MAX 상 박막의 제조방법
    4.
    发明申请
    나노결정 MAX 상 박막의 제조방법 审中-公开
    在纳米晶体上生产薄膜的方法

    公开(公告)号:WO2014109425A1

    公开(公告)日:2014-07-17

    申请号:PCT/KR2013/000234

    申请日:2013-01-11

    CPC classification number: C23C14/0641 C23C14/3471 C23C14/3485 C23C14/5806

    Abstract: 본 발명은, Ti 2 AlN MAX 상 박막 제작에 관한 것으로, 스퍼터링 등으로 형성한 비정질 Ti 2 AlN 박막을 800 ℃ 정도의 고온에서 후열 처리하여 결정질 화하는 종래 기술과 달리 비교적 저온에서 박막을 증착함과 동시에 바로 결정질 박막으로 제작하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, Ti 2 AlN 타겟을 제작사용하고, 임펄스 전압을 인가하여 방전된 플라즈마를 이용하여 타겟으로부터 침식되어 나오는 금속 입자를 이온화시켜 400 내지 500 ℃ 정도의 비교적 저온에서 우수한 결정질 박막을 제작할 수 있어, 모재 선택의 폭을 넓혀 Ti 2 AlN MAX 상 박막 적용의 폭을 넓혔다.

    Abstract translation: 本发明涉及在Ti2AlN MAX上制造薄膜,并且提供了一种方法,其中与通过溅射等形成的无定形Ti 2 AlN薄膜通过经受 随后在约800℃的高温下进行热处理,在较低温度下气相沉积时,将薄膜直接制成结晶薄膜。 根据本发明,可以通过制备Ti2AlN靶,并且通过使用以下方法使被腐蚀和从靶中出现的金属粒子的离子化,在400-500℃的相对较低的温度下制造出优异的晶体薄膜 在施加脉冲电压时放电的等离子体,因此基材的选择范围变宽,Ti2AlN MAX上的薄膜的使用范围扩大。

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