Abstract:
본 발명은 경질 고분자 수지를 사출성형하여 제조되는 상하 기판 사이에 폴리비닐리덴클로라이드 필름을 삽입한 후 가열 가압하여 제조되는 랩온어칩의 마이크로밸브 소자를 제작하는 방법 및 이로부터 제작되는 마이크로밸브 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 랩온어칩에 장착되는 마이크로밸브 소자의 제작방법은 상하 기판을 경질 고분자 소재로 사출성형이 가능하므로 짧은 시간에 대량생산이 가능하고, 폴리비닐리덴클로라이드 필름과 기판의 열융착 특성이 우수하여 경질 기판/필름 막/경질 기판의 구조를 용이하고 신뢰성 있게 구현할 수 있어서 마이크로밸브 소자의 제조에 소요되는 시간이 단축되어 랩온어칩의 대량생산이 가능하다. 또한, 폴리비닐리덴클로라이드 필름의 열수축 특성으로 인하여 열압착 접착시 필름 막이 늘어나 미세형상을 메우는 일이 발생하지 않고 필름 막의 형상이 그대로 유지되면서 진공에 의해 만곡된 형상을 가지므로 개폐가 부드럽고 민감하게 작동될 수 있으며, 유체의 투과율이 낮아서 필름 막 상하의 양 유체가 섞이지 않으므로 밸브 또는 펌프의 역할에 적합하다.