公开(公告)号：WO2022270714A1

公开(公告)日：2022-12-29

申请号：PCT/KR2022/002414

申请日：2022-02-18

Applicant: 주식회사 제우스

Inventor： 남성우 ,  박지호 ,  공운 ,  송지훈

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  B08B13/00 ,  B08B3/022 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/78 ,  H01L2221/68336

Abstract: 본 발명의 기판처리장치는 구동 모터부와, 구동 모터부에 회전 가능하게 연결되는 틸팅유닛과, 틸팅유닛에 설치되는 승강유닛과, 승강유닛에 의해 승강되도록 승강유닛에 연결되고, 밀폐링부를 파지하는 파지유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：WO2022270713A1

公开(公告)日：2022-12-29

申请号：PCT/KR2022/002394

申请日：2022-02-18

Applicant: 주식회사 제우스

Inventor： 이상훈 ,  박지호 ,  공운

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  B08B13/00 ,  B08B3/022 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/78 ,  H01L2221/68336

Abstract: 본 발명의 기판세정장치는 웨이퍼부가 안착되고, 웨이퍼부가 안착되고, 제1세정액이 수용되는 척테이블와, 제1세정액에 침지되고, 웨이퍼부에 초음파를 조사하는 초음파 세정모듈과, 척테이블의 외측에 배치되고, 척테이블의 외측으로 이동된 초음파 세정모듈을 세정하도록 제2세정액이 수용되는 세정 챔버부를 포함하는 것을 특징으로 한다.