公开(公告)号：WO2012011703A2

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/KR2011/005260

申请日：2011-07-18

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

Inventor： 최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/019

Abstract: 멤스 스위치 및 이의 제조방법에 있어서, 멤스 스위치는 기판과, 기판 상에 형성된 제1 단자와, 기판 상에 형성되고 제1 단자와 간격을 두고 위치한 제2 단자와, 제2 단자 상에 형성되는 도전성 지지대와, 지지대에 캔틸레버(cantilever) 형태로 연결되고 기판과 평행한 방향으로 연장되어 일 단부가 제1 단자의 상방에 위치하며 외부의 충격에 의한 휘어짐으로 제1 단자와 접촉하는 도전성 구동빔을 포함한다. 이에, 초소형 사이즈의 스위치 형성이 가능하고, 안정적인 스위치 동작이 가능하다.

Abstract translation: 和

MEMS开关，和在其制备中，MEMS开关形成在第一端子和形成在基板和基板位于距离的第二端子的第一端子上的基板上， 形成在第二端子上的导电支撑件，连接到支撑件并在平行于基板的方向上延伸的悬臂，一端位于第一端子上方， 在这个实施例中， 因此，可以形成非常小尺寸的开关并且可以进行稳定的开关操作。

公开(公告)号：WO2011078488A2

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：PCT/KR2010/008348

申请日：2010-11-24

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최정덕 ,  육현미 ,  최진식

Inventor： 최정덕 ,  육현미 ,  최진식

IPC: H01L21/205 ,  H01R13/648

CPC classification number: H01R4/643 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/509 ,  H01R13/53

Abstract: 접지 구조물 및 이를 구비하는 히터와 플라즈마 화학기상증착 장치를 개시한다. 접지 구조물은 접지 전류를 접지 수용체로 안내하는 접지 커넥터를 수용하는 수용부를 구비하는 접지 마운트, 수용부에 배치되며 일측이 개방되어 내부와 외부가 연통하는 개방부를 구비하는 실린더 형상을 갖고 접지 커넥터의 표면과 내측면이 서로 접촉하도록 접지 커넥터를 파지하는 접지 클램프, 개방부와 인접한 외측면으로부터 절곡되도록 돌출하여 외측면과 평행하게 연장하여 개방부의 폭만큼 이격되어 배치되는 한 쌍의 걸림턱, 걸림턱에 체결되어 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 보강하는 죔새 보강부재 및 접지 클램프의 외측면과 접지 마운트를 전기적으로 연결하여 접지 전류를 접지 마운트로 전달하는 접지배선을 포함한다. 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 향상하여 이격공간의 발생을 억제함으로써 아킹에 의한 접지 커넥터 손상을 방지한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种接地结构，以及具有该接地结构的加热器和化学气相沉积设备。 接地结构包括：接地座，其具有用于接收用于将接地电流引导到接地接收器的接地连接器的壳体; 位于壳体处的接地夹具，接地夹具具有开口部分的圆筒形状，以在内部和外部连通并且以使接地连接器的表面和内表面彼此接触的方式保持接地连接器 ; 一对夹爪，其从靠近开口部分的外表面突出并且与外表面平行地延伸，同时保持与开口部分的宽度相同的距离; 紧固到所述夹爪的干涉加强构件，用于加强所述接地夹和所述接地连接器之间的接合力; 以及用于将接地夹的外表面与接地座连接以将接地电流传送到接地座的接地线。 通过增加接地夹和接地连接器之间的接合力，可以抑制间隙的形成，从而防止由于电弧引起的接地连接器的损坏。

公开(公告)号：WO2010030102A2

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：PCT/KR2009/005070

申请日：2009-09-08

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최진식 ,  최정덕

Inventor： 최진식 ,  최정덕

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H02N13/00

Abstract: 열응력을 흡수하는 버퍼층을 포함하는 정전 척이 개시된다. 정전 척은 관통 홀을 구비하는 바디부, 상기 바디부의 상부에 배치되고 상기 관통 홀에 대응하는 삽입 홀 및 상기 삽입 홀을 통하여 부분적으로 노출되는 전극을 포함하여 상기 전극의 정전기력에 의해 대상체를 고정하는 기저부, 상기 관통 홀 및 삽입 홀을 통하여 상기 전극과 연결되는 접속단자를 구비하는 단자부 및 상기 접속단자와 상기 바디부 및 상기 기저부의 적어도 하나와의 경계면에 배치되어 상기 바디부의 열응력을 흡수할 수 있는 버퍼층을 포함한다. 본 발명에 따르면, 정전 척에 포함되는 버퍼층에 의해 열응력이 흡수됨으로써 열응력으로 인한 크랙 발생이 최소화되고 이에 따라 정전 척의 수명이 연장된다.

Abstract translation: 公开了一种静电卡盘，其包括缓冲层以吸收热应力。 静电吸盘包括：具有横向孔的主体; 基板，其设置在所述主体的上侧，并且包括对应于所述横向孔的插入孔，以及通过所述插入孔部分地露出的电极层，以固定由所述电极层的静电能量保持的物体; 端子单元，具有通过所述横向孔和所述插入孔与所述电极层连接的接触端子; 以及缓冲层，设置在所述接触端子，所述主体和所述基板之间的至少一个边界处，以便能够吸收来自所述主体的热应力。 根据本发明，静电卡盘的缓冲层吸收热应力，从而使由于热应力引起的裂纹最小化并延长卡盘的使用寿命。

公开(公告)号：WO2010030101A2

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：PCT/KR2009/005068

申请日：2009-09-08

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최진식 ,  최정덕

Inventor： 최진식 ,  최정덕

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H02N13/00

Abstract: 열응력을 흡수하는 버퍼층을 포함하는 정전 척이 개시된다. 정전 척은 관통 홀을 구비하는 바디부, 상기 바디부의 상부에 배치되고 상기 관통 홀에 대응하는 삽입 홀 및 상기 삽입 홀을 통하여 부분적으로 노출되는 전극을 포함하여 상기 전극의 정전기력에 의해 대상체를 고정하는 기저부, 상기 관통 홀 및 삽입 홀을 통하여 상기 전극과 연결되는 접속단자 및 상기 접속단자와 상기 바디부를 전기적으로 절연하는 절연부재를 구비하는 단자부, 상기 바디부와 상기 절연부재 사이의 적어도 일부 경계면에 배치되어 상기 바디부의 열응력이 상기 절연부재로 전달되는 것을 차단하는 제1 버퍼층 및 상기 바디부와 상기 기저부 사이의 적어도 일부 경계면에 배치되어 상기 바디부의 열응력이 상기 절연부재로 전달되는 것을 차단하는 제2 버퍼층을 구비한다. 본 발명에 따르면, 정전 척에 포함되는 버퍼층에 의해 열응력이 흡수됨으로써 열응력으로 인한 크랙 발생이 최소화되고 이에 따라 정전 척의 수명이 연장된다.

Abstract translation: 公开了一种包括吸收热应力的缓冲层的静电卡盘。 通过包括一个电极固定的物体的静电吸盘被部分地暴露于设置在所述主体部分中的电极的静电力，具有通孔，并通过插通孔和通孔对应于所述插入孔的主体部分的上部 的基础上，设置在至少一些之间的界面的贯通孔和插入并通过其连接到所述电极端子和所述连接端子和所述终端具有用于从，主体部分电绝缘的绝缘构件的主体部和所述绝缘部件中的孔连接 它是第一至框的热应力，其中所述第一缓冲层和所述热应力至少布置在所述接口的一部分的身体部位的主体部分和从被转移到绝缘构件的基块之间的主体部分被转移到绝缘构件 2缓冲层。 根据本发明，热应力被包括在静电卡盘中的缓冲层吸收，由此使由热应力引起的裂纹的发生最小化，由此延长静电卡盘的寿命。