公开(公告)号：WO2019122705A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/FR2018/053396

申请日：2018-12-19

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier ,  DELACHAT, Florian ,  TEYSSEDRE, Hubert

IPC: G03F7/00 ,  C08F293/00 ,  C08F2/38 ,  C08F220/14 ,  C08F12/08 ,  C08F220/20 ,  C09D125/04 ,  B29C33/62 ,  B82Y40/00 ,  C08F112/08 ,  C09D125/06 ,  B05D3/02 ,  B29C33/42 ,  B82Y30/00

Abstract: La présente invention concerne un procédé d'impression par transfert utilisant une nouvelle famille de couches anti adhésive. Plus particulièrement, la présente invention concerne un procédé d'impression par transfert utilisant une nouvelle famille de couches anti adhésive pour les procédés de lithographie par nano impression (nanoimprint lithography en anglais).