公开(公告)号：WO2016038298A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：PCT/FR2015/052389

申请日：2015-09-09

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05D3/002 ,  C09D125/14 ,  C09D153/00 ,  G03F1/50

Abstract: La présente invention concerne un procédé de contrôle du taux de défauts dans des films obtenus à l'aide d'une composition comprenant un mélange de copolymères à blocs et de polymères déposé sur une surface. Les polymères comprennent au moins un monomère identique à ceux présents dans l'un ou l'autre bloc des copolymères à blocs.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制使用包含沉积在表面上的嵌段共聚物和聚合物的混合物的组合物获得的膜中的缺陷率的方法。 聚合物包含至少一种与嵌段共聚物嵌段中存在的单体相同的单体。

公开(公告)号：WO2016116705A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：PCT/FR2016/050113

申请日：2016-01-21

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  INOUBLI, Raber ,  CHEVALIER, Xavier

IPC: C08L53/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05D1/005 ,  B05D3/0254 ,  C08L53/00 ,  C08L2205/02 ,  C09D153/00 ,  G03F1/68 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168

Abstract: Procédé d'amélioration de l'uniformité de dimension critique de films ordonnés de copolymères à blocs La présente invention concerne un procédé de contrôle de l'uniformité de dimension critique de filmsordonnésde copolymères à blocs à l'échelle nanométrique. L'invention concerne également les compositions utilisées pour contrôler l'uniformité de dimension critique de films ordonnés de copolymères à blocs et les films ordonnés ainsi obtenus pouvant être utilisés en particulier comme masques dans le domaine de la lithographie.

Abstract translation: 本发明涉及用于监测纳米尺度上嵌段共聚物的有序膜的临界尺寸均匀性的方法。 本发明还涉及用于监测嵌段共聚物的有序膜和由此获得的有序膜的临界尺寸均匀性的组合物，其可以特别用作光刻领域中的掩模。

公开(公告)号：WO2015086991A1

公开(公告)日：2015-06-18

申请号：PCT/FR2014/053254

申请日：2014-12-10

Applicant: ARKEMA FRANCE ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： FLEURY, Guillaume ,  NAVARRO, Christophe ,  HADZIIOANNOU, Georges ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier ,  REBOUL, Chrystilla ,  CASTILLO, Véronica ,  PECASTAINGS, Gilles

IPC: C08J9/26 ,  B05D3/02 ,  B81C1/00 ,  B82Y30/00 ,  C09D153/00 ,  C08L53/00

CPC classification number: C09D187/005 ,  B01J31/06 ,  B05D3/06 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F293/005 ,  C08F2438/02 ,  C08J9/26 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271

Abstract: L'invention concerne un procédé de réalisation d'un film de copolymères à blocs auto assemblés sur un substrat, ledit procédé consistant à effectuer un dépôt simultané de copolymère à blocs et de copolymère statistique au moyen d'une solution contenant un mélange, de copolymère à blocs et de copolymère statistique de nature chimique différente et non miscibles, puis à effectuer un traitement de recuit permettant la promotion de la ségrégation de phases inhérente à l'auto-assemblage des copolymères à blocs.

Abstract translation: 本发明涉及一种在基材上制备自组装嵌段共聚物膜的方法，所述方法包括通过含有嵌段共聚物和具有不同化学性质的统计共聚物的混合物并且不混溶的溶液同时沉积嵌段共聚物和统计共聚物的方法 然后进行退火处理，以促进嵌段共聚物的自组装固有的相分离。

公开(公告)号：WO2015011035A1

公开(公告)日：2015-01-29

申请号：PCT/EP2014/065468

申请日：2014-07-18

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  CHEVALIER, Xavier ,  NICOLET, Celia

IPC: C08J5/18 ,  C08F297/02 ,  G03F7/00 ,  C09D153/00 ,  C08F2/00 ,  B82Y30/00

CPC classification number: B05D3/046 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/0493 ,  C08F2/001 ,  C08F297/026 ,  C09D153/00 ,  G03F1/68 ,  G03F7/00 ,  G03F7/0002 ,  C08L25/06

Abstract: The present invention relates to a process for controlling the period characterizing the morphology obtained from a blend of block copolymers and of (co) polymers of one of the blocks on a surface employing a particular way of carrying out the synthesis of the blend of block copolymers and of (co) polymers of one of the blocks.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制表面形貌的时期的方法，其特征在于使用嵌段共聚物的共混物和表面上的一个嵌段的（共））聚合物，其特征在于使用特定的方式进行嵌段共聚物的共混物 和其中一个嵌段的（共）聚合物。

公开(公告)号：WO2019122705A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/FR2018/053396

申请日：2018-12-19

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier ,  DELACHAT, Florian ,  TEYSSEDRE, Hubert

IPC: G03F7/00 ,  C08F293/00 ,  C08F2/38 ,  C08F220/14 ,  C08F12/08 ,  C08F220/20 ,  C09D125/04 ,  B29C33/62 ,  B82Y40/00 ,  C08F112/08 ,  C09D125/06 ,  B05D3/02 ,  B29C33/42 ,  B82Y30/00

Abstract: La présente invention concerne un procédé d'impression par transfert utilisant une nouvelle famille de couches anti adhésive. Plus particulièrement, la présente invention concerne un procédé d'impression par transfert utilisant une nouvelle famille de couches anti adhésive pour les procédés de lithographie par nano impression (nanoimprint lithography en anglais).

公开(公告)号：WO2017103062A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/081373

申请日：2016-12-16

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002

Abstract: The present invention relates to a process for reducing the structuring time of ordered films of a composition of block copolymers on a surface without increasing the level of defects, this being whatever the orientation (perpendicular to the substrate, parallel to the substrate, etc.); this composition having a product χ effective*N (with χ effective = chi effective Flory-Huggins parameter, and N the total degree of polymerization) of between 10.5 and 40.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于减少表面上嵌段共聚物组合物的有序膜的结构化时间而不增加缺陷水平的方法，该方法无论取向如何（垂直于基底， 平行于基板等）; 该组合物具有10.5和40之间的乘积x有效* N（其中x有效= chi有效Flory-Huggins参数，N为总聚合度）。

公开(公告)号：WO2016116706A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：PCT/FR2016/050114

申请日：2016-01-21

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： CHEVALIER, Xavier ,  INOUBLI, Raber ,  NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05D1/005 ,  B05D3/0254 ,  C08L53/00 ,  C08L2205/02 ,  C09D153/00 ,  G03F1/68 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168

Abstract: La présente invention concerne un procédé d' obtention de films ordonnés épais (typiquement > 20nm) et de périodes élevées (typiquement > 10nm) à l'échelle nanométrique comprenant un copolymère à blocs (BCP). L' invention concerne également les compositions utilisées obtenir ces films ordonnés épais et les films ordonnés ainsi obtenus pouvant être utilisés en particulier comme masques dans le domaine de la lithographie.

Abstract translation: 本发明涉及一种生产厚度有序的膜（通常> 20nm）和在纳米尺度上高（通常> 10nm）的周期的方法，包括嵌段共聚物（BCP）。 本发明还涉及用于生产所述厚有序膜的组合物以及由此制备的有序膜，其可特别用于光刻领域的掩模。

公开(公告)号：WO2016097574A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/FR2015/053501

申请日：2015-12-15

Applicant: ARKEMA FRANCE

Inventor： NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier

IPC: B82Y30/00 ,  C08F297/02 ,  C09D153/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: C08F297/026 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/004

Abstract: Procédé de contrôle de la synthèse d'un copolymère à blocs contenant au moins deux blocs, dont au moins un bloc apolaire et au moins un bloc polaire, ledit procédé permettant en particulier de contrôler le ratio entre les blocs et de la masse moléculaire de chacun des blocs, ledit copolymère étant un copolymère à blocs destiné à être utilisé en tant que masque dans un procédé de nano-lithographie par auto-assemblage direct (DSA), ledit contrôle se faisant par polymérisation anionique semi-continue en milieu apolaire aprotique et comprenant les étapes suivantes : - synthétiser un premier bloc apolaire sous forme d'un macro-amorceur, - préparer une solution dudit macro-amorceur préalablement synthétisé en le mélangeant avec un alcoolate de métal alcalin dans un solvant apolaire aprotique, - préparer une solution de monomère polaire dans un solvant apolaire aprotique, - injecter les deux solutions préalablement préparées de macro-amorceur et de monomère polaire dans un micro-mélangeur, relié à un réacteur de polymérisation, avec un rapport de flux constant, - récupérer le copolymère obtenu.

Abstract translation: 用于控制包含至少两个嵌段（包括至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段）的嵌段共聚物的合成的方法，所述方法使得可以特别地控制嵌段之间的比例和每个嵌段的分子量 所述共聚物是通过直接自组装（DSA）在纳米光刻方法中用作掩模的嵌段共聚物，所述控制通过非质子非极性介质中的半连续阴离子聚合实现，并且包括以下步骤： - 合成大分子引发剂形式的第一非极性嵌段， - 通过在非质子非极性溶剂中与碱金属醇化物混合来制备所述先前合成的大分子引发剂的溶液， - 制备极性单体在非质子非极性溶剂中的溶液， 将两个先前制备的大分子引发剂和极性单体的溶液注入连接到聚合反应器的微混合器中，其具有恒定的 流动比， - 回收所获得的共聚物。

公开(公告)号：WO2015087003A1

公开(公告)日：2015-06-18

申请号：PCT/FR2014/053277

申请日：2014-12-11

Applicant: ARKEMA FRANCE ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX

Inventor： MUMTAZ, Muhammad ,  AISSOU, Karim ,  BROCHON, Cyril ,  CLOUTET, Eric ,  FLEURY, Guillaume ,  HADZIIOANNOU, Georges ,  NAVARRO, Christophe ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier

IPC: C09D153/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/033

CPC classification number: C09D153/00 ,  B05D1/005 ,  B05D1/28 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C08G77/60 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  Y10S977/892

Abstract: L' invention concerne un procédé permettant la création de structures nanométriques par l'auto-assemblage de copolymères à blocs dont au moins un des blocs est issu de la polymérisation de monomères comprenant au moins une entité cyclique répondant à la formule I. Ou X= Si(R 1 ,R 2 ); Ge(R 1 ,R 2 ) Z= Si(R 3 ,R 4) ; Ge(R 3 ,R 4 ); 0; S; C(R 3 ,R 4 ) Y= 0; S; C(R 5 ,R 6) T= 0; S; C(R7,R 8) R 1, R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 sont choisis parmi l'hydrogène, les groupements alkyle linéaires, branchés, cycliques, avec ou sans hétéroatome, les groupements aromatiques avec ou sans hétéroatome.

Abstract translation: 本发明涉及通过嵌段共聚物的自组装制备纳米结构的方法，其中至少一个嵌段来自包含至少一个满足式I的环状体的单体的聚合，其中X = Si（R 1， R2），Ge（R1，R2）; Z = Si（R3，R4），Ge（R3，R4），O，S，C（R3，R4）; Y = 0，S，C（R5，R6）; 和T = 0，S，C（R 7，R 8）; 其中R 1，R 2，R 3，R 4，R 5，R 6，R 7，R 8选自氢，具有或不具有杂原子的直链，支链，环状烷基和具有或不具有杂原子的芳族基团。

公开(公告)号：WO2012164194A1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：PCT/FR2012/051102

申请日：2012-05-16

Applicant: ARKEMA FRANCE ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX 1 ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX ,  NICOLET, Celia ,  DERIBEW, Dargie H. ,  RENAUD, Cedric ,  FLEURY, Guillaume ,  BROCHON, Cyril ,  VIGNAU, Laurence ,  CLOUTET, Eric ,  MOUGNIER, Sébastien-Jun ,  HADZIIOANNOU, Georges

Inventor： NICOLET, Celia ,  DERIBEW, Dargie H. ,  RENAUD, Cedric ,  FLEURY, Guillaume ,  BROCHON, Cyril ,  VIGNAU, Laurence ,  CLOUTET, Eric ,  MOUGNIER, Sébastien-Jun ,  HADZIIOANNOU, Georges

IPC: H01L51/42 ,  H01L51/00

CPC classification number: H01L51/0043 ,  C08G2261/126 ,  C08G2261/1412 ,  C08G2261/3223 ,  C08G2261/417 ,  C08G2261/74 ,  C08G2261/91 ,  H01L27/301 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0037 ,  H01L51/4253 ,  H01L2251/308 ,  Y02E10/549

Abstract: La présente invention concerne une composition d'une couche active d'une cellule photovoltaïque organique comprenant : • - un matériau donneur d'électrons consistant en un polymère conju¬ gué; • - un matériau accepteur d'électrons consistant en un polymère; caractérisée en ce que la couche active comprend un copolymère à architecture linéaire comportant : • de deux à cinq blocs dont au moins deux blocs de nature chimique différente; • deux blocs consécutifs étant de nature chimique différente; • chaque bloc présentant une masse molaire comprise entre 500 g/ mol et 50000 g/mol. L'invention se rapporte également à un module photovoltaïque à base de cellules organiques incorporant une telle composition et à l'utilisa¬ tion de cette composition aux mêmes fins.

Abstract translation: 本发明涉及有机光伏电池的活性膜的组合物，其包含：由共轭聚合物组成的电子给体材料; 和由聚合物组成的电子受体材料，其特征在于活性膜包括具有线性结构的共聚物，其包含：至少两个具有不同化学性质的两个嵌段; 两个具有不同化学性质的连续块; 每个嵌段的摩尔质量为500g / mol至50,000g / mol。 本发明还涉及一种包含这种组合物的有机电池基光伏模块以及用于相同目的的该组合物的用途。