公开(公告)号：WO2015000520A1

公开(公告)日：2015-01-08

申请号：PCT/EP2013/064151

申请日：2013-07-04

Applicant: EV GROUP E. THALLNER GMBH

Inventor： SCHMIDBAUER, Martin ,  ZENGER, Tobias ,  SCHMID, Florian ,  WIESER, Thomas ,  STELZHAMMER, Hermann ,  TRACKSDORF, Martin

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/0206 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L22/20 ,  H01L22/30

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung einer Substratoberfläche eines Substrats durch Aufbringen einer Flüssigkeit auf die Substratoberfläche, wobei die auf die Substratoberfläche aufgebrachte Flüssigkeit durch eine oberhalb der Substratoberfläche angeordnete Heizfläche geheizt wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Temperatur der Flüssigkeit durch Auf- und Abfahren der Heizfläche konstant gehalten wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine korrespondierende Vorrichtung.

Abstract translation: 本发明涉及通过施加液体到衬底表面上，其中施加到所述基材表面的液体负载由一个在衬底表面上加热处理的基板的基板表面的方法布置加热表面，其特征在于，通过升高和降低所述流体的温度 加热表面保持恒定。 本发明还涉及一种相应的装置。