公开(公告)号：WO2016179458A1

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：PCT/US2016/031111

申请日：2016-05-06

申请人： HUTCHINSON TECHNOLOGY INCORPORATED

发明人： FISCHER, Kurt F. ,  HAAS, Alex W. ,  HORNER, Matthew J. ,  LADWIG, Peter F. ,  MINTON, Carl C. ,  PESAVENTO, Paul V. ,  SMAHEL, David D. ,  SPERL, Christopher J. ,  SYDLO, Darrell C. ,  TIWARI, Ritesh K. ,  TOBIAS, Kyle T. ,  YUSUF, Maryam O.

IPC分类号： H05K3/38 ,  H05K3/10 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/762 ,  H01L21/22

CPC分类号： C25D5/34 ,  C23C18/1653 ,  C25D5/022 ,  C25D7/00 ,  C25D7/0614 ,  C25D7/0678 ,  G11B5/484 ,  G11B5/486 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32825 ,  H05K1/053 ,  H05K3/182 ,  H05K2203/0709 ,  H05K2203/095

摘要： Methods for producing flexible circuits can include creating treating a surface of the flexible circuit with at least one of an atmospheric plasma and a beam of ions. The atmospheric plasma is formed by directing a flow of gas between an electrode and the surface of the flexible circuit and generating a voltage between the electrode and the flexible circuit to create a plasma from the gas. A mean ion energy of the ions in the ion beam ranges from about 500 electron volts to about 1,500 electron volts.

摘要翻译： 用于制造柔性电路的方法可以包括利用大气等离子体和离子束中的至少一种来产生处理柔性电路的表面。 大气等离子体通过在电极和柔性电路的表面之间引导气体流而形成，并且在电极和柔性电路之间产生电压以从气体产生等离子体。 离子束中离子的平均离子能量范围为约500电子伏特至约1500电子伏特。