公开(公告)号：WO0058759A3

公开(公告)日：2001-07-12

申请号：PCT/US0005450

申请日：2000-03-03

Applicant: NANODEVICES INC

Inventor： ADDERTON DENNIS M ,  MINNE STEPHEN C

IPC: G01B21/30 ,  G01Q10/06 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/34 ,  G05D3/00 ,  G05D3/12 ,  G01B5/28 ,  G01B7/34

CPC classification number: G01Q60/34 ,  G01Q10/045 ,  G01Q10/065 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/863 ,  Y10S977/869 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/881

Abstract: An AFM (10) that combines an AFM Z position actuator (16) and a self-actuated Z-position cantilever (20) (both operable in cyclical mode and contact mode), with appropriate nested feedback control circuitry to achieve high-speed imaging and accurate Z-position measurements. The self-actuated cantilever (20) includes a Z-positioning element (36) integrated therewith and an oscillator that oscillates the cantilever (20) at a resonant frequency and at an oscillation amplitude equal to a setpoint value. The AFM includes a first feedback circuit (12) nested within a second feedback circuit (14), wherein the first feedback circuit generates a cantilever control signal in response to vertical displacement of the self-actuated cantilever (20) during a scanning operation, and the second feedback circuit (14) is responsive to the cantilever control signal to generate a position control signal.

Abstract translation: AFM（10）组合了AFM Z位置执行器（16）和自动Z位置悬臂（20）（均可在循环模式和接触模式下操作）与适当的嵌套反馈控制电路实现高速成像 和精确的Z位置测量。 自动驱动悬臂（20）包括与其成一体的Z定位元件（36）和振荡器，其以共振频率和等于设定值的振荡振幅振荡悬臂（20）。 AFM包括嵌套在第二反馈电路（14）内的第一反馈电路（12），其中第一反馈电路在扫描操作期间响应于自致动悬臂（20）的垂直位移而产生悬臂控制信号，以及 第二反馈电路（14）响应于悬臂控制信号以产生位置控制信号。