公开(公告)号：WO2014173692A1

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：PCT/EP2014/057292

申请日：2014-04-10

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH

Inventor： BOUHADID, Hakim ,  PRIEUR-BLANC, Serge

IPC: F01C21/00 ,  F04B37/14 ,  F04C23/00 ,  F04C25/02 ,  F04D19/04 ,  F04B53/20

CPC classification number: F01C21/007 ,  F04B37/14 ,  F04B39/16 ,  F04B41/06 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/00 ,  F04C2240/806 ,  F04D19/046

Abstract: Ein Vakuumpumpen-System weist eine erste Vakuumpumpe (10) auf, die partikelunempfindlich ist. Eine zweite Vakuumpumpe (12), die mit der ersten Vakuumpumpe (10) verbunden ist, ist partikelempfindlich. Das Verbindungselement (14) zwischen den beiden Vakuumpumpen (10, 12) ist derart ausgebildet, dass es eine steife Verbindung herstellt und die erste Vakuumpumpe (10) trägt. Ferner ist das Verbindungselement (14) mit Filterelementen (18, 20) verbunden. Das Vorsehen eines die Vakuumpumpen tragenden Stahlgerüsts ist nicht erforderlich.

Abstract translation: 真空泵系统包括第一真空泵（10），该粒子不敏感。 其被连接到第一真空泵（10）的第二真空泵（12）是粒子敏感。 两个真空泵（10，12）之间的连接元件（14）被形成为使得它创建的刚性连接和第一真空泵（10）。 此外，连接元件（14）与过滤元件（18，20）。 钢框架支撑所述真空泵的提供不是必需的。