Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Isolatorschicht angegeben. Dieses umfasst folgende Verfahrensschritte: A) Bereitstellen eines Precursors, der eine Mischung einer ersten, einer zweiten und einer dritten Komponente umfasst, wobei - die erste Komponente eine Verbindung der allgemeinen Formel IA umfasst, wobei R 1 und R 2 unabhängig voneinander aus einer Gruppe auswählt sind, die Wasserstoff und Alkylreste umfasst und n = 1 bis 10000; die zweite Komponente eine Verbindung der allgemeinen Formel IIA umfasst, wobei R 3 für einen Alkylrest steht, und die dritte Komponente zumindest eine Aminverbindung umfasst B) Aufbringen des Precursors auf ein Substrat; C) Aushärten des Precursors zur Bildung der Isolatorschicht.