Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Sensorelement (1) mit zumindest einem Messelement (2), welches piezoelektrische und pyroelektrische Eigenschaften aufweist und mit Messelektroden (3) ausgestattet ist, wobei auf das zumindest eine Messelement (2) gleichzeitig eine Messgröße und eine Störgröße einwirkt und das von den Messelektroden (3) abgeleitete Messsignal ein Störsignal aufweist. Das Sensorelement (1) weist zumindest ein Kompensationselement (4, 4') auf, wobei auf das Kompensationselement (4, 4') nur die Störgröße einwirkt, sodass vom Kompensationselement (4, 4') ein Korrektursignal ableitbar ist, welches zur Kompensation des Störsignals im Messsignal dient. Die Erfindung besteht darin, dass das Kompensationselement (4, 4') mit einer ersten (10) und einer zweiten Messelementauflage (11) des Messelementes (2) oder mit dem Messelement (2) entlang dessen Längserstreckung zwischen den Messelementauflagen (10, 11) in thermischem Kontakt steht, sodass sich im Messelement (2) und im Kompensationselement (4, 4') im Wesentlichen dasselbe Temperaturfeld einstellt.
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorgehäuses für einen Drucksensor sowie ein Sensorgehäuse für einen Drucksensor, einen Drucksensor mit einem solchen Sensorgehäuse und die Verwendung einer additiven Fertigungsvorrichtung zur Herstellung eines solchen Sensorgehäuses. Auf ein bereitgestelltes Metallblech wird ein Sensorkörper und/oder wenigstens ein Membranstempel mittels additiver Fertigung aufgebracht. Die additive Fertigung erzeugt dabei eine stoffschlüssige, insbesondere flächige, Fügeverbindung zwischen dem Sensorkörper und/oder dem wenigstens einen Membranstempel einerseits und dem Metallblech andererseits
Abstract:
Ein Sensor für die Messung von Druck und/oder Kraft umfasst zumindest eine Messanordnung mit zumindest einem auf Stauchung beanspruchten piezoelektrischen Messelement (2) für die dynamische Druck- bzw. Kraftmessung, sowie eine Membran (3) zur Einleitung des Drucks bzw. der Kraft auf zumindest das piezoelektrische Messelement. Um eine weitere Ausführungsform eines Sensors für die Druck- oder Kraftmessung angegeben, die eine verbesserte Erfassung von statischen und dynamischen Effekten ermöglicht, wird für diesen Sensor eine weitere, auf einem anderen physikalischen Messprinzip beruhende Messanordnung (4, 7) für eine statische Druck- bzw. Kraftmessung vorgeschlagen.