公开(公告)号：WO2022013334A1

公开(公告)日：2022-01-20

申请号：PCT/EP2021/069695

申请日：2021-07-15

Applicant: SCHOTT AG

Inventor： PEUCHERT, Ulrich ,  BLEZINGER, Martin ,  UTZ, Thomas ,  BREITBACH, Christian ,  JOTZ, Matthias ,  LIEBSCH, Sören

IPC: G01L9/00 ,  B81C1/00 ,  C03B33/02 ,  G01L19/06

Abstract: Die Erfindung betrifft allgemein einen Glaswafer zur Herstellung von Glaselementen für die Verwendung in Drucksensoren und ein Glaselement für die Verwendung in Drucksensoren sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Glaselements und eines Glaswafers. Ein weiterer Aspekt betrifft einen Drucksensor, der ein solches Glaselement umfasst oder mittels eines solchen Glaselements erhältlich ist.

公开(公告)号：WO2021219782A1

公开(公告)日：2021-11-04

申请号：PCT/EP2021/061256

申请日：2021-04-29

Applicant: SCHOTT AG

Inventor： PEUCHERT, Ulrich ,  BLEZINGER, Martin ,  HERING, Simon ,  WAGNER, Fabian ,  HEISS-CHOUQUET, Markus ,  GLÄßER, Vanessa ,  ORTNER, Andreas ,  DRISCH, Michael ,  HÖRBERG, Annika ,  HETTLER, Robert ,  MÜLLER, Lars

IPC: H01L33/60

Abstract: Die Erfindung sieht einen Abstandhalter-Wafer (1) zur Herstellung von Abstandhaltern (2) für die Gehäusung elektro-optischer Wandler (3) durch Abtrennen von Abschnitten (4) vom Abstandhalter-Wafer (1) vor. Der Abstandhalter-Wafer (1) umfasst eine transparente Glasplatte (10), die eine Vielzahl von in einem Raster verteilt angeordneten, voneinander getrennten Öffnungen (5) aufweist, so dass durch Abtrennen von Abschnitten (4) der Glasplatte (10) entlang von Trennlinien (7) zwischen den Öffnungen (5) die vereinzelten Abstandhalter (2) erhältlich sind, wobei die Öffnungen (5) Seitenwandungen (50) mit einer Mikrostrukturierung (9) mit einer Rauigkeit aufweisen, wobei der Mittenrauwert Ra der Rauigkeit kleiner als 0,5 µm bei einer Meßstrecke von 500 µm beträgt.