公开(公告)号：WO2021219782A1

公开(公告)日：2021-11-04

申请号：PCT/EP2021/061256

申请日：2021-04-29

Applicant: SCHOTT AG

Inventor： PEUCHERT, Ulrich ,  BLEZINGER, Martin ,  HERING, Simon ,  WAGNER, Fabian ,  HEISS-CHOUQUET, Markus ,  GLÄßER, Vanessa ,  ORTNER, Andreas ,  DRISCH, Michael ,  HÖRBERG, Annika ,  HETTLER, Robert ,  MÜLLER, Lars

IPC: H01L33/60

Abstract: Die Erfindung sieht einen Abstandhalter-Wafer (1) zur Herstellung von Abstandhaltern (2) für die Gehäusung elektro-optischer Wandler (3) durch Abtrennen von Abschnitten (4) vom Abstandhalter-Wafer (1) vor. Der Abstandhalter-Wafer (1) umfasst eine transparente Glasplatte (10), die eine Vielzahl von in einem Raster verteilt angeordneten, voneinander getrennten Öffnungen (5) aufweist, so dass durch Abtrennen von Abschnitten (4) der Glasplatte (10) entlang von Trennlinien (7) zwischen den Öffnungen (5) die vereinzelten Abstandhalter (2) erhältlich sind, wobei die Öffnungen (5) Seitenwandungen (50) mit einer Mikrostrukturierung (9) mit einer Rauigkeit aufweisen, wobei der Mittenrauwert Ra der Rauigkeit kleiner als 0,5 µm bei einer Meßstrecke von 500 µm beträgt.

公开(公告)号：WO2022078774A1

公开(公告)日：2022-04-21

申请号：PCT/EP2021/077030

申请日：2021-09-30

Applicant: SCHOTT AG

Inventor： ORTNER, Andreas ,  WAGNER, Fabian ,  HEISS-CHOUQUET, Markus ,  DRISCH, Michael ,  GLÄßER, Vanessa ,  HÖRBERG, Annika ,  WALTER, Lukas ,  MÜLLER, Lars ,  SOHR, David ,  KLUGE, Michael ,  HOPPE, Bernd ,  KOGLBAUER, Andreas ,  MUTH, Stefan ,  PEUCHERT, Ulrich

IPC: C03C15/00 ,  C03C23/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/55 ,  B81C1/00

Abstract: Die Erfindung betrifft ein plattenförmiges Glaselement, welches glasiges Material mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten unterhalb von 10×10-6 K-1 aufweist, sowie zwei gegenüberliegende Oberflächen. Das Glaselement weist weiterhin mindestens eine durch das Glas des Glaselements hindurch verlaufende Ausnehmung mit einer Ausnehmungswandung, die um die Ausnehmung herum verläuft und an die beiden gegenüberliegenden Oberflächen angrenzt. Die Ausnehmungswandung weist eine Struktur auf, die eine Vielzahl von aneinander angrenzenden, abgerundeten, kalottenförmigen Vertiefungen aufweist. Durch diese Vertiefungen sowie die Vertiefungen umgebende Grate ist eine Rauheit der Ausnehmungswandung ausgebildet. Die Ausnehmungswandung weist einen Mittenrauwert (Ra) auf, der unterhalb von 5 µm liegt, bevorzugt unterhalb von 3 µm, bevorzugt unterhalb von 1 µm. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung des plattenförmigen Glaselements mit strukturierter Wandung, wobei durch die Einstellung der Laserparameter, die Struktur der Ausnehmungswandung oder die Rauheit gezielt eingestellt wird.