公开(公告)号：WO2012164050A1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：PCT/EP2012/060318

申请日：2012-05-31

Applicant: SURCOATEC AG ,  REINER, Dirk

Inventor： REINER, Dirk

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32394 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32577

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung (10) zum Beschichten zumindest eines Oberflächenbereichs (28) und/oder zum Abtragen von Material aus zumindest einem Oberflächenbereich (28) eines beliebig geformten Werkstücks (22) mittels plasmagestützter chemischer Gasphasenabscheidung, mit einer Kammer (14), die eine Hochfrequenz-Elektrode (22), eine Referenz-Elektrode (29) und eine elektrisch leitfähige Werkstückhalterung (24) aufweist und mit einer Schaltungsanordnung (30) zum Einspeisen von Hochfrequenz, die zumindest einen Hochfrequenz-Generator (32) und Hochfrequenzleitungspfade (36, 38, 40) aufweist, wobei der Hochfrequenz-Generator (32) über Hochfrequenzleitungspfade (36, 38, 40) mit an voneinander räumlich getrennten Einspeise-Stellen (42, 44, 46) der Hochfrequenz- Elektrode (22) angeschlossen ist. Es ist vorgesehen, dass die Hochfrequenz-Elektrode (22) mit der Mehrzahl von Einspeise- Stellen (42, 44, 46) elektrisch leitend mit der Werkstückhalterung (24) verbunden ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于涂料的至少一个表面区域上的装置（10）（28）和/或用于由等离子体增强化学气相沉积法从任意形状的工件（22）的至少一个表面区域（28）去除材料，包括：腔室（14）， 和所述高频电极（22），参比电极（29）和导电的工件支承件（24）的电路装置（30），用于耦合射频（至少一个高频发生器（32）和高频导电路径36 ，38，40），其特征在于，通过高频电极（22）的高频导电路径（36，38，40），其具有间隔开的馈入点（42，44在空间上分离，46）的高频发生器（32）相连。 可以设想，在高频电极（22）与所述多个馈入点（42,44，46）电传导地连接到所述工件保持器（24）。