公开(公告)号：WO2021205036A8

公开(公告)日：2021-10-14

申请号：PCT/EP2021/059422

申请日：2021-04-12

申请人： SURFUNCTION GMBH ,  DLIP UG

发明人： BOGDAN, Voisiat ,  LASAGNI, Andrés, Fabián

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/067 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0652 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/0738

摘要： Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung, deren Verwendung und ein Verfahren zur Interferenzstrukturierung einer Probe. Ein Laser emittiert einen Laserstrahl, der von einem Strahlteiler in mindestens zwei Teilstrahlen aufgeteilt wird. Im Strahlengang sind eine erste Zylinderlinse und eine zweite Zylinderlinse zur Brechung der Teilstrahlen in einen Interferenzbereich angeordnet. Die Teilstrahlen interferieren derart, dass in einem Strukturbereich der Probe eine Struktur mit linienförmigen Strukturelementen ausbildbar ist. Die Zylinderachse der ersten Zylinderlinse ist parallel zur Zylinderachse der zweiten Zylinderlinse ausgerichtet.

公开(公告)号：WO2021205036A1

公开(公告)日：2021-10-14

申请号：PCT/EP2021/059422

申请日：2021-04-12

申请人： SURFUNCION GMBH ,  DLIP UG

发明人： BOGDAN, Voisiat ,  LASAGNI, Andrés, Fabián

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/067 ,  B23K26/066

摘要： Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung, deren Verwendung und ein Verfahren zur Interferenzstrukturierung einer Probe. Ein Laser emittiert einen Laserstrahl, der von einem Strahlteiler in mindestens zwei Teilstrahlen aufgeteilt wird. Im Strahlengang sind eine erste Zylinderlinse und eine zweite Zylinderlinse zur Brechung der Teilstrahlen in einen Interferenzbereich angeordnet. Die Teilstrahlen interferieren derart, dass in einem Strukturbereich der Probe eine Struktur mit linienförmigen Strukturelementen ausbildbar ist. Die Zylinderachse der ersten Zylinderlinse ist parallel zur Zylinderachse der zweiten Zylinderlinse ausgerichtet.