公开(公告)号：WO2016137576A3

公开(公告)日：2016-10-13

申请号：PCT/US2016012183

申请日：2016-01-05

Applicant: UNIV NEW YORK STATE RES FOUND

Inventor： COOLBAUGH DOUGLAS ,  ADAM THOMAS ,  LEAKE GERALD L

IPC: H01L31/08 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/054 ,  H01L31/10

CPC classification number: G02B6/13 ,  G02B6/12002 ,  G02B6/132 ,  G02B6/1347 ,  G02B6/136 ,  G02B2006/121 ,  G02B2006/12104 ,  G02B2006/12123 ,  G02B2006/12169 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/2033 ,  H01L21/2053 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14629 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/028 ,  H01L31/105 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/547

Abstract: A photonic structure can include in one aspect one or more waveguides formed by patterning of waveguiding material adapted to propagate light energy. Such waveguiding material may include one or more of silicon (single-, poly-, or non-crystalline) and silicon nitride.

Abstract translation: 在一个方面中，光子结构可以包括通过图案化适于传播光能的波导材料形成的一个或多个波导。 这种波导材料可以包括硅（单晶，多晶或非晶）和氮化硅中的一种或多种。