公开(公告)号：WO2016075189A1

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：PCT/EP2015/076306

申请日：2015-11-11

申请人： VON ARDENNE GMBH

发明人： BORCHEL, Ronny ,  HÄUSLER, Christoph ,  KRAUSE, Jochen ,  VON DER WAYDBRINK, Hubertus ,  ZAHN, Richard

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/44 ,  B01J3/00 ,  H01J37/32 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C14/568 ,  B01J3/03 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45591

摘要： Ein Kammerdeckel (100) zum Abdichten einer Kammeröffnung (104o) in einer Gasseparationskammer (300), wobei sich der Kammerdeckel (100) im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe (804a, 804b) an den Kammerdeckel (100); wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) eine Öffnung (106a, 106b) aufweist, welche den Kammerdeckel (100) durchdringt; und ein Trennelement (110), welches sich quer zur Kammerdeckel-Ebene in der Öffnung (106a, 106b) derart erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) mittels des Trennelements (110) in zumindest einen ersten Öffnungsbereich (113a) und einen zweiten Öffnungsbereich (113b) separiert ist.

摘要翻译： 腔室盖（100），用于密封在气体分离室（300），其中，所述腔室盖（100）沿着腔室盖平面延伸基本上可根据各种实施例包括一个腔室开口（104o）：高真空端口（126），用于 连接的高真空泵（804A，804B）连接到腔室盖（100）; 其中，所述高真空泵连接（126）具有贯通腔室盖（100）中的开口（106A，106B）; 并且朝向开口的腔室覆盖层，其横向（106B 106A）延伸的分隔构件（110），以使高真空泵连接（126）通过在至少一个第一开口部的分离部件（110）的装置（113A）和第二 开口部（113B）被分离。