Abstract:
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung (102) zum Abdecken einer Öffnung (200g) einer Prozesskammer (200p); undeine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe(106), wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung (102) an ihrer Prozesskammerseite (102i) befestigt ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Gasentladungslampenanordnung, aufweisend eine Gasentladungslampe (1) mit einem rohrförmigen, langgestreckten Lampenkörper (3) sowie einer ersten, in dem Lampenkörper aufgenommenen Elektrode (5), eine erste, langgestreckte elektrische Leiterstruktur (10) mit einem ersten Längsendabschnitt (10a), der mit einem aus dem Lampenkörper herausgeführten Kontaktierungsabschnitt (5a) der ersten Elektrode elektrisch verbunden ist, und eine erste Gehäusestruktur (20), die einen Hohlraum (26) definiert, durch welchen hindurch sich die erste elektrische Leiterstruktur erstreckt und in dem die erste elektrische Leiterstruktur unter Ausbildung eines Lampenlängsdehnungs-Puffers einmal oder mehrmals aus einer ersten, im Wesentlichen linearen Erstreckungsrichtung heraus vorgebogen ist. Alternativ kann die Leiterstruktur einen Lampenlängsdehnungs-Pufferabschnitt aufweisen, der zur Aufnahme axialer Ausdehnungen oder Verschiebungen der Gasentladungslampe stauchbar ist.