公开(公告)号：WO2011036924A1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：PCT/JP2010/060686

申请日：2010-06-23

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  三宅 英孝 ,  佐藤 達志 ,  福島 一彦

Inventor： 三宅　英孝 ,  佐藤　達志 ,  福島　一彦

IPC: B23H7/02

CPC classification number: B23H1/028 ,  B23H7/02 ,  B23H7/101 ,  B23H7/107 ,  B23H9/00 ,  B23H11/006

Abstract: 　ワイヤ放電加工装置は、互いに離間して並列に設けられかつ被加工物にそれぞれ対向する複数の切断ワイヤ部を有するワイヤ電極と、パルス状の加工用電圧を発生させる加工用電源と、前記複数の切断ワイヤ部に電気的に接続され、前記複数の切断ワイヤ部と前記被加工物との間に前記加工用電圧を印加する複数の給電子ユニットと、前記複数の切断ワイヤ部に沿って加工液が極間へ向かうように、前記加工液を噴出口から噴出させるノズルとを備えている。

Abstract translation: 公开了一种电线放电加工装置，其具备：线电极，具有多个切割线部，所述多个切割线部通过彼此间隔开并面对待加工对象而彼此平行设置; 用于产生脉冲状加工电压的加工电源; 多个供电单元，其电连接到切割线部分，并且将加工电压施加到切割线部分和待加工对象之间; 以及喷嘴，从喷射口将切削液从切割丝部分喷射到电极之间。

公开(公告)号：WO2009154199A1

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：PCT/JP2009/060946

申请日：2009-06-16

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  三宅 英孝 ,  佐藤 達志

Inventor： 三宅　英孝 ,  佐藤　達志

IPC: B23H7/02 ,  B23H7/10

CPC classification number: B23H7/02 ,  B23H1/028 ,  B23H7/08 ,  B23H7/10 ,  B23H7/107 ,  B23H9/00 ,  B23H11/006 ,  B28D5/045

Abstract: 　ワイヤ加工方法は、互いに離間して並列して設けられ所定領域部分が被加工物（８）に対向する切断ワイヤ部（２ａ）とされた並列するワイヤ電極（２）と、パルス状の加工用電圧を発生させる加工電源（６）と、複数の切断ワイヤ部（２ａ）のそれぞれに対してこの切断ワイヤ部（２ａ）のワイヤ電極（２）に電気的接続され、切断ワイヤ部（２ａ）と被加工物（８）との間にそれぞれ加工用電圧を印加する複数の給電子ユニット（７１，７２）とを備え、並列する複数の切断ワイヤ部（２ａ）において、少なくとも一部の切断ワイヤ部（２ａ）に通電する電流の方向が他の切断ワイヤ部（２ａ）に通電する電流の方向と異なる方向となるように給電子ユニット（７１，７２）が配設されている。

Abstract translation: 本发明公开了一种排线加工装置，其特征在于包括：平行的线电极（2），彼此间隔开并具有在预定区域形成为面对工件（8）的切割线部分（2a）。 用于产生脉冲状工作电压的工作电源（6）; 以及多个馈电单元（71和72），用于单独的切割线部分（2a）与切割线部分（2a）的线电极（2）电连接，从而在切割线部分之间施加单独的工作电压 2a）和工件（8）。 在平行的切割线部分（2a）中，馈送单元（71和72）被布置成使得要馈送到至少一些切割线部分（2a）的电流的方向可以不同于电气方向 电流被馈送到另一个切割线段（2a）。

公开(公告)号：WO2015041813A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/US2014/052759

申请日：2014-08-26

Applicant: HSIA, Kangmin

Inventor： HSIA, Kangmin

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L22/20 ,  B23H1/02 ,  B23H1/028 ,  B23H1/04 ,  B23H1/08 ,  B23H3/00 ,  B23H7/28 ,  B23H7/32 ,  B23H9/00 ,  B23H9/02 ,  B24B19/22 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/32115 ,  H01L21/3212 ,  H01L22/12

Abstract: A method of polishing a surface of an object disposed within a gas chamber is provided. The method includes filling the gas chamber with a discharging medium to a predefined pressure, applying a voltage between an electrode and the surface, calibrating a height of the electrode relative to the surface so as to establish electrical breakdown threshold criteria, and scanning the electrode with respect to the surface so as to sequentially position the electrode over a plurality of locations on the surface, each location characterized by a surface error. When a respective location in the plurality of locations has a surface error that meets the electrical breakdown threshold criteria, electrical breakdown occurs, whereby the electrical breakdown results in a discharging pulse that polishes the surface.

Abstract translation: 提供了一种抛光设置在气室内的物体的表面的方法。 该方法包括将排出介质的气室填充到预定压力，在电极和表面之间施加电压，校准电极相对于表面的高度，以便建立电击穿阈值标准，并用 相对于表面，以便将电极顺序地放置在表面上的多个位置上，每个位置的特征在于表面误差。 当多个位置中的相应位置具有满足电击穿阈值标准的表面误差时，发生电击穿，由此电击穿导致抛光表面的放电脉冲。

公开(公告)号：WO2014102615A3

公开(公告)日：2014-11-20

申请号：PCT/IB2013003188

申请日：2013-12-13

Applicant: UNIV AIX MARSEILLE ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： VIGEOLAS ERIC

IPC: B23H7/10 ,  B23H1/02 ,  B23H9/00

CPC classification number: B23H1/028 ,  B23H7/10 ,  B23H7/105 ,  B23H9/005

Abstract: The invention relates to an electrical discharge machine (EDM) (1) for machining a conductor element such as a metal piece, the machine comprising a cutting wire (5) that is paid out from an upstream coil (6) to a downstream reception member. The machine (1) comprises a carrier means (13) that is provided with an orifice (100) for the metal piece to pass and is equipped with guiding means (18, 18'), such as a plurality of return pulleys (18, 18') for said cutting wire (5). It further relates to an improvement of a method for electrical discharge machining. Through simple, reliable and inexpensive means, the invention allows producing tridimensional parts on conventional wire cutting machines. It also allows the EDM to increase its capacity and execution speed. Another aspect of the invention is related to a method of machining a conductor element. This method is characterized in that it comprises a step of guiding the cutting wire (5) by guiding it to multiple tangent points around of the conductor element. The multiplication of tangent points results in higher machining speeds that are directly proportional to a number of passes of the cutting wire (5).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于加工诸如金属片的导体元件的放电机（EDM）（1），该放电机包括从上游线圈（6）向下游接收部件（6）支付的切割线（5） 。 机器（1）包括载体装置（13），该载体装置（13）设置有用于金属件通过的孔（100），并且配备有引导装置（18,18'），诸如多个返回带轮 18'）。 本发明还涉及放电加工方法的改进。 通过简单，可靠和廉价的方法，本发明允许在传统的线切割机上生产立体零件。 它还允许EDM增加其容量和执行速度。 本发明的另一方面涉及一种加工导体元件的方法。 该方法的特征在于，其包括通过将切割线（5）引导到导体元件周围的多个切点来引导切割线（5）的步骤。 切点的乘积导致与切割线（5）的通过次数成正比的更高的加工速度。

公开(公告)号：WO2008092135A3

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：PCT/US2008052133

申请日：2008-01-25

Applicant: UNIV UTAH RES FOUND ,  BAMBERG EBERHARD ,  RAKWAL DINESH R

Inventor： BAMBERG EBERHARD ,  RAKWAL DINESH R

IPC: B23K9/14 ,  B23H9/00

CPC classification number: B23H1/028 ,  B23H9/00

Abstract: A multi-wire electron discharge machine includes a first wire electrode for creating an electrical discharge between the first electrode wire and a semiconductor ingot, a second wire electrode for creating an electrical discharge between the second electrode wire and the semiconductor ingot, and a wire guide for maintaining the first wire electrode in a spaced apart and generally parallel orientation with respect to the second wire electrode across a semiconductor ingot slicing area.

Abstract translation: 多线电子放电机包括用于在第一电极线和半导体锭之间产生放电的第一线电极，用于在第二电极线和半导体锭之间产生放电的第二线电极，以及线引导件 用于将第一线电极相对于跨越半导体锭切片区域的第二线电极保持间隔开且大致平行的取向。

公开(公告)号：WO2008092135A2

公开(公告)日：2008-07-31

申请号：PCT/US2008/052133

申请日：2008-01-25

Applicant: UNIVERSITY OF UTAH RESEARCH FOUNDATION ,  BAMBERG, Eberhard ,  RAKWAL, Dinesh, R.

Inventor： BAMBERG, Eberhard ,  RAKWAL, Dinesh, R.

IPC: B23K9/013

CPC classification number: B23H1/028 ,  B23H9/00

Abstract: A multi-wire electron discharge machine includes a first wire electrode for creating an electrical discharge between the first electrode wire and a semiconductor ingot, a second wire electrode for creating an electrical discharge between the second electrode wire and the semiconductor ingot, and a wire guide for maintaining the first wire electrode in a spaced apart and generally parallel orientation with respect to the second wire electrode across a semiconductor ingot slicing area.

Abstract translation: 多线电子放电机包括用于在第一电极线与半导体锭之间产生放电的第一线电极，用于在第二电极线与第二电极线之间产生放电的第二线电极， 半导体锭块和导线引导件，用于将第一线电极维持在隔着半导体锭块切割区域相对于第二线电极间隔开且大致平行的取向。

公开(公告)号：WO2014102615A2

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：PCT/IB2013/003188

申请日：2013-12-13

Applicant: UNIVERSITE D'AIX MARSEILLE ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： VIGEOLAS, Eric

IPC: B23H7/10

CPC classification number: B23H1/028 ,  B23H7/10 ,  B23H7/105 ,  B23H9/005

Abstract: The invention relates to an electrical discharge machine (EDM) (1) for machining a conductor element such as a metal piece, the machine comprising a cutting wire (5) that is paid out from an upstream coil (6) to a downstream reception member. The machine (1) comprises a carrier means (13) that is provided with an orifice (100) for the metal piece to pass and is equipped with guiding means (18, 18'), such as a plurality of return pulleys (18, 18') for said cutting wire (5). It further relates to an improvement of a method for electrical discharge machining. Through simple, reliable and inexpensive means, the invention allows producing tridimensional parts on conventional wire cutting machines. It also allows the EDM to increase its capacity and execution speed. Another aspect of the invention is related to a method of machining a conductor element. This method is characterized in that it comprises a step of guiding the cutting wire (5) by guiding it to multiple tangent points around of the conductor element. The multiplication of tangent points results in higher machining speeds that are directly proportional to a number of passes of the cutting wire (5).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于加工诸如金属片的导体元件的放电加工机（EDM）（1），该机器包括切割线（5），该切割线从上游线圈 （6）传送到下游接收部件。 机器（1）包括载体装置（13），该载体装置设有用于金属片通过的孔口（100）并且配备有诸如多个返回滑轮（18,18'）的引导装置（18,18' 18'）用于所述切割线（5）。 本发明还涉及对放电加工方法的改进。 通过简单，可靠和便宜的手段，本发明允许在传统的线切割机上生产立体部件。 它还允许EDM增加其容量和执行速度。 本发明的另一方面涉及一种加工导体元件的方法。 该方法的特征在于，其包括通过将切割线（5）引导到导体元件周围的多个切点来引导切割线（5）的步骤。 切点的相乘导致更高的加工速度，这与切割线（5）的通过次数成正比。

公开(公告)号：WO2013153691A1

公开(公告)日：2013-10-17

申请号：PCT/JP2012/077154

申请日：2012-10-19

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  三宅 英孝 ,  糸数 篤 ,  中西 洋介

Inventor： 三宅　英孝 ,  糸数　篤 ,  中西　洋介

IPC: B23H7/02 ,  B23H9/00

CPC classification number: B23H7/10 ,  B23H1/028 ,  B23H7/105 ,  B23H9/00 ,  B23H11/00

Abstract: 　切断加工と仕上げ加工を、同一装置内で一括処理によって行なうことができるワイヤ放電加工装置を得るために、間隔をおいて平行に配設された複数のメインガイドローラ（１ａ）～（１ｄ）と、複数のメインガイドローラ（１ａ）～（１ｄ）間に一定のピッチで離間して巻き掛けられ、一対のガイドローラ（１ａ）、（１ｂ）間に切断ワイヤ部（ＣＬ）を形成したメインガイドローラ（１）の回転に伴って走行する１本のワイヤ（３）と、切断ワイヤ部（ＣＬ）の各々のワイヤ（３）に給電する給電子ユニット（６）と、を備えたワイヤ放電加工装置であって、切断ワイヤ部（ＣＬ）により被加工物（５）の切断を行い、一部が被加工物（５）と繋がった状態で、被加工物（５）からの半導体ウエハの切り出しを中断し、切断ワイヤ部（ＣＬ）のワイヤ（３）を一方の切断面に近接させて放電加工した状態で走査する構成とした。

Abstract translation: 一种电线放电加工装置，其具有：并列分离设置的多个主导辊（1a〜1d）; 缠绕在以恒定间距分开的多个主导辊（1a-1d）之间并由于主导辊（1）由切割线部分（CL）旋转而移动的单线（3） ）形成在一对导辊（1c，1d）之间; 以及向切割线部分（CL）的每根线（3）供电的馈电单元（6）。 为了获得能够通过同一装置中的固结处理进行切割和精加工的线材放电加工装置，该线材放电加工装置被构造成：通过切割线部分（CL）切割工件（5） ）; 当部分保持连接到工件（5）时，半导体晶片从工件（5）的切割被中断。 并且切割线部分（CL）的线（3）更靠近其中一个切割表面，并且在放电加工状态下被扫描。

公开(公告)号：WO2012070167A1

公开(公告)日：2012-05-31

申请号：PCT/JP2011/002772

申请日：2011-05-18

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  三宅 英孝 ,  佐藤 達志 ,  福島 一彦

Inventor： 三宅　英孝 ,  佐藤　達志 ,  福島　一彦

IPC: B23H7/10 ,  B23H7/02

CPC classification number: B23H7/10 ,  B23H1/028 ,  B23H7/02 ,  B23H7/065 ,  B23H7/105 ,  B28D5/045

Abstract: ワイヤ３をメインガイドローラ１ａ～１ｄ間に複数回巻き掛けて、同時に複数の切断加工を行うワイヤ放電加工装置において、切断ワイヤ部ＣＬの振動を抑制して安定した加工が可能なワイヤ放電加工装置を得る。メインガイドローラ１ａ～１ｄとは別に、ワイヤ３をガイドして振動が抑制された複数の切断ワイヤ部ＣＬを形成して従動式の制振ガイドローラ７ａ、７ｂまたは制振ガイド２１ａ、２１ｂを備え、ノズル８ａ、８ｂに対する切断ワイヤ部ＣＬの位置を規定した。

Abstract translation: 一种线排出装置，其通过以多匝将导线（3）卷绕在主导辊（1a〜1d）之间的同时进行多次切割加工，并且能够在抑制切割线部分的振动的同时进行稳定的处理 （CL）。 除了主导辊（1a〜1d）之外，还设置有引导线（3）并形成切割线部（CL）的从动阻尼导辊（7a，7b）或阻尼引导件（21a，21b） 其振动被抑制，并且切割线部分（CL）的位置相对于喷嘴（8a，8b）被指定。

公开(公告)号：WO2010015806A1

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：PCT/GB2009/001877

申请日：2009-07-30

Applicant: SARCLAD LIMITED ,  WYBROW, Mark

Inventor： WYBROW, Mark

IPC: B23H1/02 ,  B23H9/04

CPC classification number: B23H9/04 ,  B23H1/028

Abstract: A control method for an electrical discharge apparatus wherein the electrical discharge apparatus is for applying a machined or textured finish to the surface of an electricity conductive workpiece comprising the steps of; applying multiple voltage pulses to one or more electrodes over a predetermined time period; counting the number of voltage pulses applied; counting the number of voltage pulses applied to the or each electrode which drop to below a threshold voltage; calculating the proportion of voltage pulses applied per electrode which drop to below the threshold voltage to the number of voltage pulses applied to yield an efficiency measurement for the or each electrode; outputting the efficiency measurement for the or each electrode; and adjusting the applied voltage pulses to the or each electrode according to the efficiency measurement to compensate for irregularities occurring in the or each electrode.

Abstract translation: 一种放电装置的控制方法，其中所述放电装置用于将加工或纹理光洁度施加到导电工件的表面，包括以下步骤： 在一个预定的时间周期内向一个或多个电极施加多个电压脉冲; 计数施加的电压脉冲数; 对施加到所述或每个电极的电压脉冲的数量进行计数，所述电压脉冲降至阈值电压以下; 计算每个电极施加的电压脉冲的比例，其下降到阈值电压以下以施加的电压脉冲的数量，以产生该电极或每个电极的效率测量; 输出该电极或每个电极的效率测量; 以及根据所述效率测量来调整施加到所述电极或每个电极的电压脉冲，以补偿在所述电极或每个电极中发生的不规则性。