公开(公告)号：WO2016023975A1

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：PCT/EP2015/068637

申请日：2015-08-13

Applicant: BRUKER NANO GMBH

Inventor： WALDSCHLÄGER, Ulrich

IPC: G21K1/06 ,  G01N23/20

CPC classification number: G21K1/067 ,  G01N23/20008 ,  G01N23/20016 ,  G01N2223/33 ,  G21K7/00 ,  G21K2201/067

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren (90) zum Scannen einer Probe (99) mittels einer Röntgenoptik (100) zum Bestrahlen der Probe (99) mit Röntgenstrahlen (107a), umfassend folgende Schritte: (a) Verschieben einer durch einen optischen Ausgangspunkt (108) der Röntgenoptik (100) definierten Messstelle (106) in der Probe (99) in einer ersten Scanrichtung (92) mittels Schwenkens der Röntgenoptik (100) um eine erste Schwenkachse (336); (b) Erfassen einer von der Probe (99) ausgehenden Strahlung (107b) an mindestens zwei Messstellen (106) entlang der ersten Scanrichtung (92); (c) Zusammenfügen von mit der erfassten Strahlung (107b) korrelierenden Messwerten zu einem Gesamtscan. Zudem betrifft die Erfindung eine Apparatur (96) zum Scannen einer Probe (99) umfassend: Eine Röntgenoptik (100) zum Bestrahlen einer Probe (99) mit Röntgenstrahlen (107a); einen, mit der Röntgenoptik (100) verbundenen Goniometermechanismus (300), wobei der Goniometermechanismus (300) eingerichtet ist, ein Verschwenken der Röntgenoptik (100) um eine erste Schwenkachse (336) auszuführen; wenigstens einen Aktor (117), welcher zur Betätigung des Goniometermechanismus (300) ausgebildet ist; und eine Steuerungseinrichtung (97), welche zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildet ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法（90），用于通过用于照射X射线（107A）的样品（99）的X射线光学器件（100）的装置扫描样品（99）的方法，包括步骤：（a）由一个光学基座移动（108） 通过绕第一枢轴轴线（336）枢转所述X射线光学器件（100）中定义的X射线光学器件（100）测量在第一扫描方向（92）的样品（99）在点（106）; 上沿第一扫描方向的至少两个测量点（106）（B）检测所述样品中的一个（99）输出辐射（107B）（92）; （C）与测量值的总扫描相关检测到的辐射（107B）接合。 此外，本发明涉及一种用于扫描样品（99）的装置（96）包括：X射线光学器件（100），用于与X射线照射样本（99），（107A）; 一个，与X射线光学器件（100），其连接Goniometermechanismus（300），其中，所述Goniometermechanismus（300）被布置成绕第一枢转轴线（336）来执行X射线光学器件（100）; 至少一个致动器（117），其被设计用于致动Goniometermechanismus（300）; 和控制装置（97），其被设计用于执行根据前述权利要求中的任一项所述的方法。

公开(公告)号：WO03081221A2

公开(公告)日：2003-10-02

申请号：PCT/US0308542

申请日：2003-03-20

Applicant: BRUKER AXS INC

Inventor： HE BOB BAOPING ,  BOLLIG RYAN C ,  BRUEGEMANN HANS MATHIAS LUTZ

IPC: G01N23/20

CPC classification number: G01N23/20016 ,  G01N23/20

Abstract: A transmission mode x-ray diffraction screening system has a sample support that holds a sample tray with multiple samples to be tested. The sample support is connected to a translation stage that is movable in three dimensions, and that it offset from the location of the sample support. An x-ray source is located to one side of the sample support, and a detector is located to the other side, thereby allowing the detection of x-rays that are diffracted by the sample in a transmission mode. A retractable beamstop may be located between the sample and the detector to block at least part of the non-diffracted x-rays from the source. A video camera may also be provided for imaging the sample location, which may be illuminated by a laser. The entire system may be automated such that each sample in the sample tray may be sequentially analyzed.

Abstract translation: 透射模式x射线衍射筛选系统具有样品载体，其保持具有待测试的多个样品的样品盘。 样品支撑件连接到可在三维中移动的平移台，并且其从样品支架的位置偏移。 x射线源位于样品支架的一侧，并且检测器位于另一侧，从而允许在透射模式下检测被样品衍射的X射线。 可伸缩的光束阻挡器可以位于样品和检测器之间以阻挡来自源的至少部分非衍射X射线。 还可以提供摄像机用于对样品位置进行成像，其可以被激光照射。 整个系统可以是自动的，使得可以顺序地分析样品盘中的每个样品。

公开(公告)号：WO2002100619A1

公开(公告)日：2002-12-19

申请号：PCT/EP2002/006407

申请日：2002-06-11

Applicant: FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH ,  HAMMER, Ralf ,  GRUSZYNSKY, Ralf ,  KLEINWECHTER, André ,  FLADE, Tilo

Inventor： HAMMER, Ralf ,  GRUSZYNSKY, Ralf ,  KLEINWECHTER, André ,  FLADE, Tilo

IPC: B28D5/00

CPC classification number: B28D5/0088 ,  B28D5/045 ,  G01N23/20016

Abstract: Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zur bestimmung der Orientierung einer kristallografischen Ebene (100) relative zu einer Kristalloberfläche (2) bereitgestellt, bei dem die Orientierung frei von Klebefehlern des Kristalls oder Verunreinigungen der Halterungen für den Kristall ist. Hierzu wird der Winkel, den die zu vermessende Kristalloberfläche mit einer Bezugsachse einschliesst und der Winekl, den die kristallografische Ebene mit der Bezugsachse einschliesst, gemessen und die Differenz gebildet. In einer Drahtsägevorrichtung mit einer X-Y-Positionierungseinheit wird anschliessend die gewünschte Korrektur anhand der messung der orientierung vorgenommen und dabei der kristall in horizontaler und vertikaler Position verstellt. Dadurch bleibt ein weiterer Freiheitsgrad der Drehung des kristalls in der Trennebene zum Erreichen eines Schnitts der senkrecht zur Vorschubrichtung und Drahtrichtung kräftefrei ist, so dass keine Werkzeugauslenkung erflogt bzw. Die Schnittkräfte minimal sind. Ferner ist die Orientierungsgenauigkeit erhöht.

Abstract translation: 它是用于确定晶面的定向的装置和方法被提供（100）相对于结晶表面（2），其中所述方向是自由的晶体缺陷或支撑件的杂质的晶体的粘合剂。 为了这个目的，其中待测量的晶体表面的角度包括参考轴和Winekl与参考轴的晶面的形式进行测量，并形成差异。 在导线与X-Y定位单元所看到的，所希望的修正再制成基于晶体的取向的测量，从而在水平和垂直位置调整。 这使得旋转自由的程度进一步其中在分离面无作用力晶体来实现垂直于喂料方向的截面和线的方向，使得没有刀具偏转或erflogt切削力是最小的。 此外，定位精度提高。

公开(公告)号：WO1993016374A1

公开(公告)日：1993-08-19

申请号：PCT/NL1993000019

申请日：1993-01-20

Applicant: B.V. OPTISCHE INDUSTRIE 'DE OUDE DELFT' ,  SMOUT, Emile, Maria

Inventor： B.V. OPTISCHE INDUSTRIE 'DE OUDE DELFT'

IPC: G01N23/20

CPC classification number: G01N23/20016

Abstract: A goniometer head, particularly for an X-ray diffractometer, is provided with a support which can be attached to the diffractometer and with parts, which can be adjusted in the x, y and z direction and which have an x and y slide, respectively, and appertinent x and y, respectively, adjusting lead screws. The part which is adjustable in the z direction is constructed to accommodate a sample holder. The support is made of plastic and has an upright section having a hole, which acts as the x slide and in which the x adjusting lead screw extends with a smooth central shank portion. A top part likewise made of plastic is fastened, by means of a snap-fit connection element, on the central shank portion of the x adjusting lead screw. The top part has a hole, which acts as the y slide and in which the y adjusting lead screw extends with a smooth central shank portion. Fastened thereto is a second snap-fit connection element for mounting the part which is adjustable in the z direction.

Abstract translation: 特别是用于X射线衍射仪的测角器头设置有可附接到衍射仪的支撑件和可以在x，y和z方向上分别具有x和y滑块的部件，分别具有x和y滑块 ，分别调整螺丝和x和y。 在z方向上可调整的部分被构造成容纳样品架。 支撑体由塑料制成，具有一个具有孔的直立部分，其作为x滑块，其中x调整导螺杆以平滑的中心柄部分延伸。 同样由塑料制成的顶部也通过卡扣式连接元件紧固在x调节丝杠的中心柄部分上。 顶部具有孔，其作为y滑块，并且y调节丝杠以平滑的中心柄部分延伸。 紧固的是用于安装可在z方向上调节的部件的第二卡扣连接元件。

公开(公告)号：WO2014125043A1

公开(公告)日：2014-08-21

申请号：PCT/EP2014/052852

申请日：2014-02-13

Applicant: BRUKER NANO GMBH

Inventor： BAUMANN, Thomas ,  WALDSCHLÄGER, Ulrich

IPC: G01N23/223 ,  G21K1/06

CPC classification number: G02B7/023 ,  G01N23/20016 ,  G01N23/223 ,  G01N2021/575 ,  G01N2223/076 ,  G01N2223/321 ,  G21K1/06 ,  H01J2235/167

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (98) zur räumlichen Ausrichtung einer Röntgenoptik (100) mit einem Eingangspunkt (104) und einem Ausgangspunkt (108). Die Vorrichtung (98) umfasst einen Parallelverschiebemechanismus (200) zur Justage des Eingangspunkts (104) der Röntgenoptik (100) auf einen ersten vorbestimmten Punkt mittels Parallelverschiebens der Röntgenoptik (100). Zudem umfasst die Vorrichtung (98) einen Goniometermechanismus (300) zur Justage des Ausgangspunkts (108) der Röntgenoptik (100) auf einen zweiten vorbestimmten Punkt (108) mittels wenigstens näherungsweisen Verschwenkens der Röntgenoptik (100) um den Eingangspunkt (104). Zudem betrifft die Erfindung eine Apparatur (96), welche die Vorrichtung (98) und eine Röntgenoptik (100), umfasst.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于具有输入点（104）和输出点（108）的X射线光学器件（100）的空间定向的装置（98）。 的装置（98）包括用于通过X射线光学器件（100）的平行移动的方式调整该X射线光学器件（100）第一预定点的输入点（104）的平行移动机构（200）。 此外，该装置（98）包括Goniometermechanismus（300），用于通过X射线光学器件（100）的入口点（104）的至少近似枢转的方式调整所述X射线光学器件（100）到第二预定点（108）的开始点（108）。 此外，本发明涉及一种包括所述设备（98）和一个X射线光学（100）的装置（96）。

公开(公告)号：WO2007078085A1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：PCT/KR2006/005768

申请日：2006-12-27

Applicant: POSTECH ACADEMY-INDUSTRY FOUNDATION ,  REE, Moon-Hor ,  LEE, Byeong-Du ,  YOON, Jin-Hwan ,  JIN, Kyeong-Sik ,  HOE, Kyu-Young ,  JIN, Sang-Woo

Inventor： REE, Moon-Hor ,  LEE, Byeong-Du ,  YOON, Jin-Hwan ,  JIN, Kyeong-Sik ,  HOE, Kyu-Young ,  JIN, Sang-Woo

IPC: G01N21/71

CPC classification number: G01N23/20016 ,  G01N2223/203 ,  G01N2223/306

Abstract: For easy control of the temperature of a sample as well as for precise control of an incident angle of a synchrotron X-ray beam, the present invention provides a method for controlling a synchrotron grazing incidence X-ray scattering apparatus, which comprises a step initializing a sample control section and a temperature control section; a step of aligning a vacuum sample chamber by driving a stepping motor drive of the sample control section, a step of compensating the incident angle of the synchrotron X-ray beam with respect to the sample by driving the goniometer drive of the sample control section, and a step of controlling the temperature of a sample stage where the sample is seated by controlling the temperature control section.

Abstract translation: 为了容易地控制样品的温度以及精确控制同步加速器X射线束的入射角，本发明提供了一种用于控制同步加速器掠入射X射线散射装置的方法，其包括步骤初始化 样品控制部和温度控制部; 通过驱动样品控制部的步进电动机驱动来对准真空试样室的步骤，通过驱动样品控制部的测角器驱动来补偿同步加速器X射线束相对于样品的入射角度的步骤， 以及通过控制温度控制部来控制样品就座的样品台的温度的步骤。

公开(公告)号：WO2003091716A1

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：PCT/GB2003/001805

申请日：2003-04-28

Applicant: COUNCIL FOR THE CENTRAL LABORATORY OF THE RESEARCH ,  BUFFEY, Steven

Inventor： BUFFEY, Steven

IPC: G01N23/20

CPC classification number: G01N23/20016

Abstract: A goniometer sample holder for aligning a sample to a radiation beam. The sample holder is rotatable about a first axis. An arm having a longitudinal axis provides a sample mount and is pivotally connected to a support by a ball and socket joint so as to allow angular displacement of the longitudinal axis in at least two planes. This permits relatively easy and rapid alignment of the sample to the beam.

Abstract translation: 用于将样品对准辐射束的测角仪样品架。 样品架可围绕第一轴线旋转。 具有纵向轴线的臂提供样品座，并且通过球窝接头枢转地连接到支撑件，以允许纵向轴线在至少两个平面中的角位移。 这允许样品相对容易且快速地对准束。

公开(公告)号：WO99032880A1

公开(公告)日：1999-07-01

申请号：PCT/IB1998/002016

申请日：1998-12-14

IPC: G01N23/207 ,  G01N23/20

CPC classification number: G01N23/20016

Abstract: A method of determining the concentrations of the constituents in a mixture of substances by way of an X-ray diffractogram of the mixture. The fundamental difficulty that it is not possible to determine the entire power spectrum (PS) of the diffraction is avoided by making a suitable estimate of the PS on the basis of the diffractions that can be observed. Using an estimate of the dispersive power of the individual atoms in the unity cells of the constitutents and the PS, the absolute intensities are determined from the relative intensities and on the basis thereof the concentrations of the constituents in the mixture are determined.

Abstract translation: 通过混合物的X射线衍射图测定物质混合物中成分的浓度的方法。 通过基于可以观察到的衍射来对PS进行合适的估计来避免不可能确定衍射的整个功率谱（PS）的根本困难。 使用对组成元素和PS的单位细胞中各个原子的分散力的估计，绝对强度由相对强度确定，并且基于其确定混合物中组分的浓度。

公开(公告)号：WO2015183907A1

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：PCT/US2015/032607

申请日：2015-05-27

Applicant: BRUKER AXS, INC.

Inventor： GIENCKE, Jonathan

IPC: G01N23/20

CPC classification number: G01T1/2978 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/10 ,  G01B15/00 ,  G01B2290/65 ,  G01N15/0211 ,  G01N23/20008 ,  G01N23/20016 ,  G01N23/207 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2223/0561 ,  G01N2223/0566 ,  G01N2223/331 ,  G01N2223/61

Abstract: A method for performing an X-ray diffraction analysis of a crystal sample (112) using a two-dimensional detector (114) that integrates an X-ray diffraction signal while the position of the sample (112) relative to an X-ray source (102) is changed along a scan direction, such as a rocking scanning curve. The resulting image is compressed along the scan direction, but may be collected very quickly. The capture of both on-axis and off-axis reflections in a single image provides a common spatial frame of reference for comparing the reflections. This may be used in the construction of a reciprocal space map, and is useful for analyzing a sample with multiple crystal layers, such as a crystal substrate with a crystalline film deposited thereupon.

Abstract translation: 使用将X射线衍射信号进行积分的二维检测器（114）进行晶体样品（112）的X射线衍射分析的方法，同时样品（112）相对于X射线源的位置 （102）沿扫描方向如摇摆扫描曲线改变。 所得到的图像沿着扫描方向被压缩，但是可能被非常快地收集。 在单个图像中捕获轴上和离轴反射提供了用于比较反射的公共空间参考系。 这可以用于构建互逆空间图，并且可用于分析具有多个晶体层的样品，例如沉积有晶体膜的晶体衬底。

公开(公告)号：WO2013063022A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/US2012/061561

申请日：2012-10-24

Applicant: BRUKER AXS, INC.

Inventor： DURST, Roger ,  KAERCHER, Joerg ,  WACHTER, Gregory ,  CHAMBERS, John

IPC: G01N23/20

CPC classification number: G01N23/207 ,  G01N23/20016 ,  G01T1/247 ,  G06F17/17

Abstract: In an X-ray detector operating in a rolling shutter read out mode, by precisely synchronizing sample rotation with the detector readout, the effects of timing skew on the image intensities and angular positions caused by the rolling shutter read out can be compensated by interpolation or calculation, thus allowing the data to be accurately integrated with conventional software. In one embodiment, the reflection intensities are interpolated with respect to time to recreate data that is synchronized to a predetermined time. This interpolated data can then be processed by any conventional integration routine to generate a 3D model of the sample. In another embodiment a 3D integration routine is specially adapted to allow the time- skewed data to be processed directly and generate a 3D model of the sample.

Abstract translation: 在通过滚动快门读出模式操作的X射线检测器中，通过将检测器读数精确地同步样本旋转，可以通过插值或补偿来补偿由滚动快门读出导致的图像强度和角度位置的定时偏移的影响 计算，从而允许数据与传统软件精确集成。 在一个实施例中，反射强度相对于时间被内插以重新创建与预定时间同步的数据。 然后可以通过任何常规的积分程序来处理该内插数据，以生成样本的3D模型。 在另一个实施例中，3D集成程序被特别地适于允许直接处理时间偏移的数据并且生成样本的3D模型。