公开(公告)号：WO2017182107A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：PCT/EP2016/075112

申请日：2016-10-19

申请人： PRECITEC OPTRONIK GMBH

发明人： SCHÖNLEBER, Martin ,  DIETZ, Christoph

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/22 ,  B23K26/03 ,  B23K26/04 ,  B23K26/06 ,  B23K26/08 ,  B23K26/21

CPC分类号： B23K26/032 ,  B23K26/03 ,  B23K26/048 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0884 ,  B23K26/21 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/22 ,  G01B2290/65

摘要： Bei einem Verfahren zur Messung der Tiefe der Dampfkapillare (88) während eines industriellen Bearbeitungsprozesses mit einem Hochenergiestrahl (19) wird ein optischer Messstrahl (70a) auf den Boden einer Dampfkapillare (88)gerichtet. Aus Reflexen des Messstrahls (70a) erzeugt ein optischer Kohärenztomograph (40) Interferenzspektren oder andere Roh-Messdaten. Eine Auswerteinrichtung (114) erzeugt entstörte Messdaten, indem Roh-Messdaten, die zu unterschiedlichen Zeitpunkten erzeugt wurden, im Wege einer mathematischen Operation gemeinsam verarbeitet werden. Bei dieser Operation kann es sich insbesondere um eine Subtraktion oder eine Division handeln. Dadurch lassen sich langsam verändernde Störeinflüsse eliminieren. Aus den entstörten Messdaten wird mit Hilfe eines Filters, z.B. eines Quantil-Filters, ein Endwert für den Abstand (a1) zum Boden der Dampfkapillare (88) berechnet. Daraus lässt sich in Kenntnis des Abstands zu einem Teil der Oberfläche (91) des Werkstücks (24), der nicht dem Hochenergiestrahl (19) ausgesetzt ist, die Tiefe der Dampfkapillare (88) bestimmen.

摘要翻译：

在用于测量蒸气毛细管的深度的方法（88）W＆AUML;在用高能量束（19）的工业加工过程中的一个光学测量光束（70a）上被引导至蒸汽毛细管（88）的底部。 根据测量光束（70a）的反射，光学相干断层扫描仪（40）产生干涉光谱或其他原始测量数据。 评估装置（114）通过数学运算通过联合处理在不同时间生成的原始测量数据来生成生成的测量数据。 具体而言，该操作可以是减法或分割。 因此，可以消除慢慢变化的清洁流动。 从所生成的测量数据中， 分位数过滤器的最终值，计算出与蒸气毛细管（88）的底部的距离（a1）。 由此，知道到工件（24）的未暴露于高能束（19）的表面（91）的一部分的距离可以确定蒸气毛细管（88）的深度。

公开(公告)号：WO2016033766A1

公开(公告)日：2016-03-10

申请号：PCT/CN2014/085879

申请日：2014-09-03

申请人： 北京交通大学

发明人： 冯其波 ,  张斌 ,  高瞻 ,  崔存星

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B11/03

CPC分类号： G01B11/002 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02019 ,  G01B11/02 ,  G01B11/03 ,  G01B11/24 ,  G01B11/26

摘要： 一种激光六自由度误差同时测量系统，其特征在于，激光发射单元（1）与固定传感测头（2）分离；所述激光发射单元（1）通过保偏光纤（104）与固定传感测头（2）连通；由光线反射器（301,302）和半透半反镜（303）组成的移动靶镜（3）设置在直线导轨的运动副上。通过采用单根保偏光纤（104）连接激光发射单元（1）和固定传感测头（2），隔绝了激光器热漂移对测量精度的影响，减小了仪器体积。

公开(公告)号：WO2015039741A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/EP2014/002483

申请日：2014-09-13

申请人： PRECITEC OPTRONIK GMBH

发明人： SCHÖNLEBER, Martin ,  KOGEL-HOLLACHER, Markus ,  BAUTZE, Thibault ,  FRAAS, Christian

IPC分类号： G01B9/02 ,  B23K26/02

CPC分类号： G01B11/22 ,  B23K26/03 ,  B23K26/046 ,  B23K26/048 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091

摘要： Bei einem Verfahren zum Messen der Eindringtiefe eines Laserstrahls (19) in ein Werkstück (24, 26) wird der Laserstrahl mit Hilfe einer in einem Bearbeitungskopf angeordneten Fokussieroptik (14) in einem Brennfleck (22) fokussiert. Der Brennfleck erzeugt dabei in dem Werkstück eine Dampfkapillare (88). Ein optischer Kohärenztomograph (40) erzeugt einen ersten Messstrahl (70a) und einen zweiten Messstrahl (70b). Der erste Messstrahl (70a) wird auf einen ersten Messpunkt (MPa) am Grund der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen ersten Abstand (a1) zwischen einem Referenzpunkt und dem ersten Messpunkt (MPa) zu messen. Gleichzeitig wird der zweite Messstrahl (70b) auf einen zweiten Messpunkt (MPb) auf einer zum Bearbeitungskopf (14) weisenden Oberfläche (92) des Werkstücks (24) außerhalb der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen zweiten Abstand (a2) zwischen dem Referenzpunkt und dem zweiten Messpunkt (MPb) zu messen. Die Eindringtiefe (d) des Laserstrahls ergibt sich dann als Differenz zwischen dem zweiten Abstand (a2) und dem ersten Abstand (a1).

摘要翻译： 在通过设置在聚焦透镜的加工头的装置测量激光束（19）的穿透深度在激光束的工件（24,26）的方法（14）被聚焦在焦点（22）。 在工件的蒸气的毛细管（88）由此产生的焦斑。 一种光学相干层析成像（40），产生第一测量光束（70A）和第二测量光束（70B）。 第一测量光束（70a）上被引导到在所述蒸气的毛细管（88）的基极的第一测量点（兆帕），从而来测量的基准点和第一个测量点（兆帕）之间的第一距离（a1）中。 涉及同时第二测量光束（70B）的上一个设置为第二测量点（MPB）的蒸气的毛细管（88）的外侧的工件（24）的加工头（14）的面对表面（92），从而形成之间的第二距离（a2）的 参考点与第二测量点（MPB），以进行测量。 激光束的穿透深度（d），然后为第二距离（a2）和所述第一间隔（A1）之间的差值获得。

公开(公告)号：WO2013079214A1

公开(公告)日：2013-06-06

申请号：PCT/EP2012/004954

申请日：2012-11-30

申请人： CARL ZEISS MEDITEC AG

发明人： HAUGER, Christoph

IPC分类号： A61B3/10 ,  A61B3/13 ,  G01B9/02 ,  A61B3/12

CPC分类号： A61B3/102 ,  A61B3/1225 ,  A61B3/13 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02091

摘要： Mikroskopiesystem zur Augenuntersuchung, aufweisend: eine Abbildungsoptik zur Erzeugung eines ersten Bildes in einer ersten Bildebene der Abbildungsoptik; ein OCT-System zur Erfassung von OCT-Daten. Das OCT-System weist eine Lichtquelle auf. Das Mikroskopiesystem weist ferner eine Beleuchtungsoptik auf, um Licht der Lichtquelle auf die Objektebene zu lenken. Das Mikroskopiesystem weist einen OCT-Betriebsmodus auf, in dem die Beleuchtungsoptik einen OCT-Strahlengang des Lichts der Lichtquelle erzeugt, um einen Abtastbereich des OCT- Strahlengangs abzutasten. Das Mikroskopiesystem weist ferner einen Auflicht-Betriebsmodus auf, in dem die Beleuchtungsoptik einen Auflichtstrahlengang des Lichts der Lichtquelle erzeugt, zur Erzeugung des ersten Bildes. Der Auflichtstrahlengang beleuchtet die Objektebene parallel, oder der Auflichtstrahlengang weist in der Objektebene eine Divergenz oder Konvergenz auf, die einem Fokusabstand von der Objektebene entspricht, der größer ist als 2 cm.

摘要翻译： 眼科检查显微镜系统，包括：用于产生在所述成像光学元件的第一图像平面上的第一图像的成像光学系统; OCT系统用于获取OCT数据。 OCT系统包括光源。 显微观察系统还包括：用于从所述光源的光引导到所述对象平面的照明光学部件。 该显微镜系统包括操作的OCT模式，其中，照明光学系统产生来自光源的光的OCT光束路径来扫描OCT光束路径的扫描范围。 显微镜系统还包括操作的入射光模式，在其中照明光学系统产生来自光源的光的反射光束的路径，以产生所述第一图像。 的反射光束照射在平行物平面，或者在物平面的反射光束具有发散或会聚，其对应于从物平面，其是大于2cm的焦距。

公开(公告)号：WO2013005910A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：PCT/KR2012/002290

申请日：2012-03-28

申请人： 서강대학교 산학협력단 ,  조규만 ,  박영규

发明人： 조규만 ,  박영규

IPC分类号： G01B9/04 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02004 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/002

摘要： 본 발명은 주사 간섭 현미경에 관한 것이다. 본 발명에 따른 주사 간섭 현미경은, 광원; 편광빔스플리터(PBS); 음향 광학 장치(AO Device); 중심변조주파수(f RF0 )를 기준으로 하여 주파수 가변 범위(Δf)내에서 디더링(dithering)되는 변조 주파수(f RF )에 따라 AO 장치를 구동시키는 AO 구동부; 신호빛과 기준빛의 간섭 신호를 검출하는 광검출소자; 변조주파수를 이용하여 상기 간섭 신호를 복조하여 출력하는 RF 복조기; 상기 RF 복조기로부터 제공되는 신호를 디더링 주파수(f dithering )를 이용하여 복조하여 출력하는 록인앰프; 사전 설정된 진폭(A)과 디더링 주파수(f dithering )를 갖는 디더링 신호를 생성하여 AO 구동부로 제공하고 상기 디더링 주파수(f dithering )를 상기 록인앰프로 제공하는 함수 생성기; 상기 록인앰프로부터 출력된 신호를 이용하여 샘플에 대한 정보를 검출하는 제어부;를 구비한다. 본 발명에 따른 주사 간섭 현미경은 변조주파수를 변동시킬 수 있는 음향광학장치를 이용하여 샘플의 국부기울기에 대한 정보를 획득함으로써, 샘플의 표면을 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 외부의 변화(noise)로 인한 샘플의 전반적인 기울기 변화도 측정 가능하여 보다 안정적인 측정이 가능해진다.

摘要翻译： 本发明涉及一种扫描干涉显微镜。 根据本发明的扫描干涉显微镜包括：光源; 偏振分束器（PBS）; 声光（AO）装置; AO驱动单元，用于根据在频率可变范围（Δf）内和基于中心调制频率（fRF0）进行抖动的调制频率（fRF）来驱动AO设备; 光检测器，用于检测信号光和参考光的干涉信号; 使用调制频率的RF解调器来解调和输出干扰信号; 使用抖动频率（fdithering）的锁定放大器，以解调和输出从RF解调器提供的信号; 功能发生器，用于产生具有预设幅度（A）和抖动频率（fdithering）的抖动信号，并将产生的抖动信号提供给AO驱动单元，并将抖动频率（fdithering）提供给锁定放大器; 以及使用由锁定放大器输出的信号的控制器，以便检测关于样本的信息。 根据本发明的扫描干涉显微镜使用AO器件，其能够：改变调制频率以获得关于样品的局部斜率的信息，以便能够精确地测量样品的表面; 并测量由外部变化（噪声）引起的样本总体斜率的变化量，以便能够进行更稳定的测量。

公开(公告)号：WO2012160005A1

公开(公告)日：2012-11-29

申请号：PCT/EP2012/059308

申请日：2012-05-18

申请人： MEDLUMICS S.L. ,  RUBIO GIVERNAU, José Luis ,  MARGALLO BALBÁS, Eduardo

发明人： RUBIO GIVERNAU, José Luis ,  MARGALLO BALBÁS, Eduardo

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02091 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02064 ,  G01B9/02082

摘要： A system for lateral scanning of a sample using optical coherence tomography is presented. The low coherence interferometry system includes a first multiplexing unit and a second multiplexing unit. The first multiplexing unit is configured to receive a first beam of radiation and includes a first plurality of optical delay elements configured to introduce a group delay to the first beam of radiation based on an optical path traversed by the first beam of radiation among a first plurality of optical waveguides. The second multiplexing unit is configured to receive a second beam of radiation. The second multiplexing unit includes a second plurality of optical modulating elements configured to differentiate the second beam of radiation among a second plurality of optical waveguides to produce one or more output radiation beams. The second plurality of optical waveguides is configured to guide the one or more output radiation beams towards a sample.

摘要翻译： 提出了一种使用光学相干断层扫描进行横向扫描样品的系统。 低相干干涉测量系统包括第一复用单元和第二复用单元。 第一多路复用单元被配置为接收第一辐射束并且包括第一多个光学延迟元件，其被配置为基于在第一多个辐射源中由第一辐射束穿过的光路引入第一辐射束的群延迟 的光波导。 第二复用单元被配置为接收第二辐射束。 第二复用单元包括第二多个光调制元件，其被配置为在第二多个光波导之间区分第二辐射束，以产生一个或多个输出辐射束。 第二多个光波导被配置为将一个或多个输出辐射束引向样品。

公开(公告)号：WO2012094146A1

公开(公告)日：2012-07-12

申请号：PCT/US2011/066234

申请日：2011-12-20

申请人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. ,  HONG, John, H. ,  MA, Jian ,  CHANG, Tallis, Y.

发明人： HONG, John, H. ,  MA, Jian ,  CHANG, Tallis, Y.

IPC分类号： G02B26/00 ,  G01B11/14 ,  G09G3/34 ,  B81C99/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02057 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/25 ,  G09G3/006 ,  G09G3/3466

摘要： This disclosure provides systems, methods and apparatus, including computer programs encoded on computer storage media, for measuring a distance. In one aspect, the method includes actuating or releasing an interferometric modulator having a first surface and a second surface and measuring a distance between the first and second surfaces at a plurality of times during the actuation or release. In another aspect, the method includes illuminating, with a first laser beam having a first wavelength and with a second laser beam having a second wavelength different from the first wavelength, an interferometric modulator having a distance between a first surface which is at least partially reflective and a second surface which is at least partially absorptive, measuring a first intensity of the first laser beam modulated by the interferometric modulator and a second intensity of the second laser beam modulated by the interferometric modulator, and determining the distance based on the measured intensities.

摘要翻译： 本公开提供了用于测量距离的系统，方法和装置，包括在计算机存储介质上编码的计算机程序。 一方面，该方法包括致动或释放具有第一表面和第二表面的干涉式调制器，并且在致动或释放期间多次测量第一和第二表面之间的距离。 在另一方面，该方法包括用具有第一波长的第一激光束和具有不同于第一波长的第二波长的第二激光束照射干涉式调制器，该调制器具有至少部分反射的第一表面之间的距离 以及第二表面，其至少部分地吸收，测量由所述干涉式调制器调制的所述第一激光束的第一强度和由所述干涉式调制器调制的所述第二激光束的第二强度，以及基于所测量的强度来确定所述距离。

公开(公告)号：WO2011121961A2

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：PCT/JP2011/001768

申请日：2011-03-25

申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA ,  SATO, Makoto ,  SAKAGAWA, Yukio ,  YOSHIDA, Hirofumi

发明人： SATO, Makoto ,  SAKAGAWA, Yukio ,  YOSHIDA, Hirofumi

IPC分类号： A61B3/00 ,  A61B3/12 ,  G01N21/47 ,  G01B9/00

CPC分类号： G01B9/02019 ,  A61B3/102 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02089

摘要： An OCT imaging apparatus includes a diffraction grating 141 that divides an incident light for each wavelength, a line sensor 139 that receives the divided light and converts it into an electric signal, a motor-driven stage 210 that adjusts a relative position between a light-receiving surface of the line sensor 139 and the light, and a display control unit 125 that displays a spectrum of the light which a sensor receives corresponding to adjustment, wherein an interference light of a measurement light and a reference light is properly aligned relative to the sensor.

摘要翻译： OCT成像装置包括：分割每个波长的入射光的衍射光栅141，接收分割光并将其转换为电信号的线传感器139;电动机级210，其调整发光元件之间的相对位置; 以及显示控制单元125，其显示传感器接收到的对应于调节的光的频谱，其中测量光和参考光的干涉光相对于所述光传感器139适当地对准 传感器。

公开(公告)号：WO2010119913A1

公开(公告)日：2010-10-21

申请号：PCT/JP2010/056724

申请日：2010-04-08

申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA ,  UTSUNOMIYA, Norihiko ,  MIYATA, Kazuhide

发明人： UTSUNOMIYA, Norihiko ,  MIYATA, Kazuhide

IPC分类号： G01B9/02 ,  A61B3/12 ,  G01N21/47

CPC分类号： G01B9/02068 ,  A61B3/102 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02077 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/02091 ,  G01N21/4795

摘要： There are provided an optical tomographic imaging apparatus which detects an amount of movement of an object during imaging to reduce a deformation or a displacement in a depth direction in an acquired image. The apparatus using interference beams obtained by combining each return beam with each reference beam, the return beams being obtained by scanning the object with measuring beams, including: a unit adapted to scan the object with the measuring beams; a unit adapted to irradiate the object with the measuring beams such that regions of the object irradiated with each measuring beams are partially overlapped; a unit adapted to calculate a positional difference in a depth direction between obtained tomographic images of the overlapped parts of the regions; and a unit adapted to compute an amount of movement of the object based on the calculated positional difference in the depth direction.

摘要翻译： 提供了一种光学层析成像设备，其在成像期间检测物体的移动量以减少获取的图像中的深度方向上的变形或位移。 使用通过将每个返回光束与每个参考光束组合而获得的干涉光束的装置，返回光束通过用测量光束扫描对象而获得，包括：适于用测量光束扫描对象的单元; 适于用所述测量光束照射所述物体的单元，使得被每个测量光束照射的物体的部分部分地重叠; 适于计算所述区域的重叠部分的所获得的断层图像之间的深度方向上的位置差异的单元; 以及适于基于所计算的深度方向上的位置差来计算物体的移动量的单元。

公开(公告)号：WO2010074279A4

公开(公告)日：2010-09-10

申请号：PCT/JP2009071718

申请日：2009-12-18

申请人： CANON KK ,  HIROSE FUTOSHI

发明人： HIROSE FUTOSHI

IPC分类号： A61B3/12 ,  A61B3/15 ,  A61B5/00 ,  G01B9/02 ,  G02B21/00

CPC分类号： G01B9/02027 ,  A61B3/102 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/0203 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091

摘要： Provided is an optical tomographic imaging apparatus capable of, when imaging a tomographic image of an object, monitoring an incident state represented by an incident position and an incident angle of a measuring beam group with respect to the object, causing the measuring beam group to form an image at a predetermined position of the object, and obtaining the tomographic image at high speed. The optical tomographic imaging apparatus is featured in that one of multiple beams emitted from a light source to be split and multiple beams emitted from multiple light sources are split into a measuring beam group and a reference beam group, and the optical tomographic imaging apparatus includes a monitoring device for obtaining a monitoring image of the object, thereby capable of monitoring an incident state represented by an incident position and an incident angle of the measuring beam group with respect to the object.

摘要翻译： 本发明提供一种光断层图像摄像装置，其能够在对被检体的断层图像进行摄像时，监视由入射位置所表示的入射状态和测量光束组相对于被摄体的入射角度，从而形成测量光束组 在对象的预定位置处的图像，并且以高速获得断层图像。 该光学断层图像成像设备的特征在于，从待分离的光源发射的多个光束中的一个光束和从多个光源发射的多个光束被分成测量光束组和参考光束组，并且该光学层析成像设备包括 监视装置，用于获得对象的监视图像，从而能够监视由入射位置和测量光束组相对于对象的入射角度表示的入射状态。