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公开(公告)号:WO2016107543A1
公开(公告)日:2016-07-07
申请号:PCT/CN2015/099386
申请日:2015-12-29
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G03B9/08
CPC classification number: G03B9/08 , G03B9/14 , G03F7/20 , G03F7/70058 , G03F7/70066 , G03F7/7015 , G03F7/7055 , H01L21/027
Abstract: 一种用于光刻机曝光系统的自阻尼快门装置,包括:至少两片快门叶片(1),用于在快门关闭时切断曝光区域的光源;快门驱动臂(2),用于带动快门叶片(1)同时开启或关闭;磁阻尼制动电机(3),用于驱动或制动快门驱动臂(2),磁阻尼制动电机(3)通过快门驱动臂(2)驱动并制动快门叶片(1)。这种光刻机曝光系统的自阻尼快门装置提高了快门叶片开启或关闭的一致性,提高了快门装置曝光遮光效果;提高了快门叶片开启或关闭过程中的稳定性;快门叶片完成开启或关闭动作时,不需要通电流,磁阻尼制动电机可以使快门叶片保持开或者闭的状态,缩短控制电流持续的时间,减少热耗散,节约能源。
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公开(公告)号:WO2013187083A1
公开(公告)日:2013-12-19
申请号:PCT/JP2013/053058
申请日:2013-02-08
Applicant: セイコープレシジョン株式会社
IPC: G03B9/36
Abstract: 開口を有した基板と、前記開口を開閉する先幕及び後幕と、前記先幕及び後幕が前記開口から退避するようにそれぞれ付勢する第1及び第2付勢部材と、露出動作において、前記先幕が前記開口を閉じた位置から前記開口から退避した位置まで前記第1付勢部材の付勢力に補助されながら前記先幕を移動させる第1アクチュエータと、前記露出動作において、前記後幕が前記開口から退避した位置から前記開口を閉じた位置まで前記第2付勢部材の付勢力に抗して前記後幕を移動させる第2アクチュエータと、を備え、前記第1アクチュエータの駆動トルクは、前記第2アクチュエータの駆動トルクよりも小さい、フォーカルプレーンシャッタ。
Abstract translation: 该焦平面快门包括:具有孔的基板; 一个前帘和后帘,打开和关闭孔; 第一和第二推动构件,其分别推动前帘和后帘,以便从孔中撤出所述帘; 第一致动器,其将前帘从前帘关闭孔的位置移动到在曝光操作期间由第一推动构件的推进力辅助的从孔开出的位置; 以及第二致动器,其将所述后帘从所述后帘从所述孔撤回的位置移动到在曝光操作期间抵靠所述第二推动构件的推进力的关闭所述孔的位置。 第一致动器的驱动扭矩小于第二致动器的驱动扭矩。
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公开(公告)号:WO2013181052A1
公开(公告)日:2013-12-05
申请号:PCT/US2013/042372
申请日:2013-05-23
Applicant: SIEMENS HEALTHCARE DIAGNOSTICS INC. , JASPERSE, Jeffrey, R.
Inventor: JASPERSE, Jeffrey, R.
IPC: G03B9/14
CPC classification number: G02B26/04 , G01N21/64 , G01N21/645 , G01N33/50 , G01N2201/0221 , G01N2201/0648 , G01N2201/068 , G03B9/14 , G03B11/043 , H01J43/00
Abstract: A shutter assembly includes a first shutter blade having a first toothed arm extending therefrom and a first light transmitting aperture therein, and a second shutter blade positioned adjacent and parallel to the first shutter blade. The second shutter blade has a second toothed arm extending therefrom and a second light transmitting aperture therein. The first and second shutter blades are supported to allow parallel linear motion. A motor gear is disposed between, and meshed with, the first and second toothed arms such that rotation of the gear causes the first and second shutter blades to move linearly in opposite directions between an open position in which the first and second light transmitting apertures are in an overlapping relationship with respect to one another, and a closed position in which the first and second light transmitting apertures are in a non-overlapping relationship with respect to one another.
Abstract translation: 快门组件包括第一快门叶片,其具有从其延伸的第一齿形臂和其中的第一透光孔,以及邻近并平行于第一快门叶片定位的第二快门叶片。 第二快门叶片具有从其延伸的第二齿形臂和其中的第二透光孔。 支撑第一和第二快门叶片以允许平行线性运动。 马达齿轮设置在第一和第二齿形臂之间并与之啮合,使得齿轮的旋转使得第一和第二快门叶片在第一和第二透光孔之间的打开位置之间沿相反方向线性移动 相对于彼此具有重叠关系,以及闭合位置,其中第一和第二透光孔彼此处于非重叠关系。
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公开(公告)号:WO2007101038A3
公开(公告)日:2008-04-03
申请号:PCT/US2007062506
申请日:2007-02-21
Applicant: SIIMPEL CORP , GUTIERREZ ROMAN C , CALVET ROBERT J
Inventor: GUTIERREZ ROMAN C , CALVET ROBERT J
CPC classification number: G03B9/14 , G02B7/08 , G02B13/001 , G03B3/10 , G03B7/083 , G03B9/08 , G03B17/02
Abstract: Systems and techniques for using one or more virtual pivots in a shutter system for a miniature camera. A virtual pivot system may comprise one or more flexures, so that a shutter apparatus may be rotated about a center of rotation without a physical rotation element at the center of rotation. The virtual pivot system may provide a number of benefits, including the reduction or elimination of stiction.
Abstract translation: 在微型照相机的快门系统中使用一个或多个虚拟枢轴的系统和技术。 虚拟枢轴系统可以包括一个或多个弯曲部,使得快门装置可围绕旋转中心旋转,而旋转中心处没有物理旋转元件。 虚拟枢轴系统可以提供许多益处,包括减少或消除静摩擦。
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公开(公告)号:WO2007108257A1
公开(公告)日:2007-09-27
申请号:PCT/JP2007/052644
申请日:2007-02-14
Applicant: オリンパスメディカルシステムズ株式会社 , 石井 広 , 岩▲崎▼ 誠二
CPC classification number: A61B1/05 , A61B1/00096 , A61B1/051 , G02B3/10 , G02B5/005 , G02B23/2438 , G03B9/02 , G03B9/14
Abstract: 複数のレンズ17、18、19、20と、絞り開口径を可変可能にする可変絞り機構31とを備えて構成されるレンズユニット11Aを有する撮像装置1は、レンズユニット11Aに、可変絞り機構31と、レンズユニット11Aの備える1つのレンズ19とを固定部35によって一体に構成した可変絞りユニット30を備えている。
Abstract translation: 一种具有透镜单元(11A)和可变孔径单元(30)的成像设备(1)。 透镜单元(11A)由透镜(17,18,19,20)和可变孔径机构(31)组成,用于改变孔径的直径。 可变孔径单元(30)是透镜单元(11A)的可变孔径机构(31)和一个透镜(19)通过固定部(35)集成在透镜单元(11A)中的单元。
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公开(公告)号:WO2004028135A3
公开(公告)日:2004-07-01
申请号:PCT/US0329568
申请日:2003-09-23
Applicant: CONCORD CAMERA CORP , WESTERWECK LOTHAR , BITTNER WILFRIED , SCHOLZ ERWIN
Inventor: WESTERWECK LOTHAR , BITTNER WILFRIED , SCHOLZ ERWIN
Abstract: An image capture device (10) is provided including more compact components to enable the fabrication of more compact image capture devices. In one particular embodiment, a compact shutter mechanism (394, 395, 397) is provided that requires less space within the camera when the shutter is open. In another particular embodiment, a rotary to linear switch (24, 25, 120, 125) is provided to reduce the amount of real estate required by the switch on the outside housing of the image capture device.
Abstract translation: 提供了一种图像捕获装置(10),其包括更紧凑的部件以使得能够制造更紧凑的图像捕获装置。 在一个特定实施例中,提供了一种紧凑的快门机构(394,395,397),当快门打开时,该快门机构在相机内需要更少的空间。 在另一个具体实施例中,提供旋转到线性开关(24,25,120,125)以减少图像捕获装置的外壳上的开关所需的不动产量。
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公开(公告)号:WO2016136931A1
公开(公告)日:2016-09-01
申请号:PCT/JP2016/055765
申请日:2016-02-26
Applicant: 日本電産コパル株式会社
Abstract: 羽根駆動装置の可動部材を円滑に移動させること、羽根駆動装置の小型化・薄型化を実現した場合にも、連続的な羽根部材の動作制御を高い分解能で精度良く行うことができること。羽根駆動装置1は、開口2Aを有するベース部材2と、開口2Aに進入するか又は開口2Aから退避するように動作する単数又は複数の羽根部材3と、開口2Aを通る光軸に交差する平面内で移動して羽根部材3を駆動する駆動部材4と、ベース部材2と駆動部材3との間に設けられ、駆動部材4をベース部材2と離間した状態で滑動支持又は弾性支持する支持部材7とを備える。
Abstract translation: 为了顺利地移动刀片驱动装置的可动构件,并且即使当叶片驱动装置小型化和变薄时,也能够以高分辨率和高精度对叶片构件进行连续运动控制,该刀片驱动装置1设置有 :具有开口2A的基部构件2; 一个或多个叶片构件3被操作以进入开口2A或从开口2A退回; 驱动构件4,其通过在穿过开口2A的光轴穿过的平面内移动而驱动叶片构件3; 以及设置在基部构件2和驱动构件4之间并且可滑动或弹性地支撑驱动构件4以与基座构件2间隔开的支撑构件7。
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公开(公告)号:WO2014136457A1
公开(公告)日:2014-09-12
申请号:PCT/JP2014/001274
申请日:2014-03-07
Applicant: キヤノン電子株式会社
Abstract: 光通過方向に交差する方向に移動する第1の光量調節羽根(6,9)と光通過方向に交差する面内で回動する第2の光量調節羽根(4,5,7,8)とを環状に重ね合わせて光通過開口を形成する。光通過開口を大きくすると光通過開口の形状が多角形から円形に近づく。リニア絞り羽根(6,9)の間に、回転絞り羽根(4,5,7,8)を配置して絞り開口を形成する。対向配置されて直進移動するリニア絞り羽根(6,9)に対する回転絞り羽根(4,5,7,8)の回動によって、絞り開口の形状を変化させる。
Abstract translation: 使第一光量调节片(6,9)和第二光量调节片(4,5,7,8)环形重叠,形成光通过的孔。 第一光量调节片(6,9)沿与光通过孔的方向相交的方向移动,第二光量调节片(4,5,7,8)在 与光通过孔的方向相交。 当孔径增大时,其多边形形状接近圆形。 通过在线性孔径叶片(6,9)之间布置旋转孔眼叶片(4,5,7,8)形成隔膜孔。 旋转光圈叶片(4,5,7,8)相对于线性孔径叶片(6,9)的旋转,线性孔径叶片(6,9)线性移动并且被布置成彼此面对,从而改变了光圈孔的形状。
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公开(公告)号:WO2008136947A1
公开(公告)日:2008-11-13
申请号:PCT/US2008/005405
申请日:2008-04-25
Applicant: FLEXTRONICS AP, LLC , WESTERWECK, Lothar
Inventor: WESTERWECK, Lothar
IPC: G03B9/00
Abstract: The present invention is a miniature camera shutter module for use in miniature camera applications. It is an object of the present invention to provide the miniature camera shutter module with solenoid controlled blades in order to alter the amount and quality of light passing through a conduit disposed on the surface of the module. In some embodiments of the present invention, the blade comprises a shutter to completely block light. In other embodiments, the blade comprises an aperture, a neutral-density filter, a monochromatic filter, and the like. In some embodiments of the present invention, the miniature camera shutter module is positioned within a more elaborate miniature camera chassis.
Abstract translation: 本发明是用于微型照相机应用的微型相机快门模块。 本发明的目的是提供具有螺线管控制的叶片的微型相机快门模块,以便改变通过设置在模块表面上的导管的光量和质量。 在本发明的一些实施例中,刀片包括完全阻挡光的快门。 在其它实施例中,刀片包括孔,中性密度滤光片,单色滤光片等。 在本发明的一些实施例中,微型相机快门模块位于更精细的微型相机机箱内。
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公开(公告)号:WO2008023284A2
公开(公告)日:2008-02-28
申请号:PCT/IB2007/050520
申请日:2007-02-16
Applicant: SONY ERICSSON MOBILE COMMUNICATIONS AB , WERNERSSON, Mats
Inventor: WERNERSSON, Mats
CPC classification number: G03B9/04 , G03B9/06 , G03B9/10 , G03B9/14 , G03B9/24 , H04N5/2254 , H04N5/2353 , H04N5/238
Abstract: A camera may comprise a lens assembly to receive optical information from a subject and a shutter assembly comprising a blade, a base plate to pivotally support the blade, and a wire to move the blade in response to a current. The camera may include an image sensor to selectively record optical information passing through the shutter.
Abstract translation: 照相机可以包括用于从被摄体接收光学信息的透镜组件和包括叶片,用于枢转地支撑叶片的基板和用于响应于电流移动叶片的线的快门组件。 相机可以包括用于选择性地记录通过快门的光学信息的图像传感器。
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