スパッタリングターゲット
    3.
    发明申请
    スパッタリングターゲット 审中-公开
    飞溅目标

    公开(公告)号:WO2014141737A1

    公开(公告)日:2014-09-18

    申请号:PCT/JP2014/050980

    申请日:2014-01-20

    CPC classification number: G11B5/851 C23C14/3414 G11B5/65

    Abstract:  金属相と酸化物相が均一分散した組織を有する焼結体スパッタリングターゲットであって、該金属相が成分としてCoとPtとMnを含有し、該酸化物相が少なくともMnを構成成分とする酸化物を含有することを特徴とするスパッタリングターゲット。スパッタ時に発生するパーティクル量を低減することができ、成膜時における歩留まりを向上することができるという優れた効果を有する。

    Abstract translation: 具有金属相和氧化物相均匀分散的结构的烧结溅射靶,溅射靶的特征在于,金属相含有Co,Pt和Mn作为成分,氧化物相含有至少具有Mn的氧化物作为成分 。 溅射靶具有能够减少溅射期间产生的颗粒的量以及能够提高膜沉积期间的产率的优异效果。

    磁気記録媒体基板用ガラス、磁気記録媒体用ガラス基板およびその利用
    4.
    发明申请
    磁気記録媒体基板用ガラス、磁気記録媒体用ガラス基板およびその利用 审中-公开
    用于磁记录介质基板的玻璃和用于磁记录介质的玻璃基板及其使用

    公开(公告)号:WO2013146256A1

    公开(公告)日:2013-10-03

    申请号:PCT/JP2013/056966

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: G11B5/7315 G11B5/8404

    Abstract: 本発明の一態様は、必須成分として、SiO 2 、Li 2 O、Na 2 O、ならびに、MgO、CaO、SrOおよびBaOからなる群から選ばれる一種以上のアルカリ土類金属酸化物を含み、MgO、CaO、SrOおよびBaOの合計含有量に対するCaOの含有量のモル比(CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO))が0.20以下、ガラス転移温度が650℃以上である磁気記録媒体基板用ガラスに関する。

    Abstract translation: 本发明的一个实施方案涉及一种用于磁记录介质基材的玻璃,其包含SiO 2,Li 2 O,Na 2 O和至少一种选自MgO,CaO,SrO和BaO作为必要组分的碱土金属氧化物,其中 CaO相对于MgO,CaO,SrO和BaO(即(CaO /(MgO + CaO + SrO + BaO))的总含量的摩尔比为0.20以下,玻璃化转变温度 为650℃以上。

    磁性材スパッタリングターゲット及びその製造方法
    5.
    发明申请
    磁性材スパッタリングターゲット及びその製造方法 审中-公开
    磁性材料溅射目标和制造方法

    公开(公告)号:WO2013125469A1

    公开(公告)日:2013-08-29

    申请号:PCT/JP2013/053753

    申请日:2013-02-15

    CPC classification number: H01J37/3429 C23C14/165 C23C14/3414 G11B5/851

    Abstract: 磁性材スパッタリングターゲットであって、ターゲット中の酸化物を観察する平面において、ターゲット中に存在する酸化物粒子の平均粒径が1.5μm以下である酸化物であり、ターゲット中の酸化物を観察する平面において、酸化物粒子の外周上にある任意の2点の距離の最大値を最大径とし、平行な2本の直線で同粒子を挟んだときの2直線間の距離の最小値を最小径とした場合、最大径と最小径の差が0.4μm以下である酸化物粒子が、ターゲット観察面において60%以上を占めることを特徴とする磁性材スパッタリングターゲット。スパッタリング時のパーティクル発生の原因となる酸化物の異常放電を抑制することができる非磁性材粒子分散型磁性材スパッタリングターゲットを得る。

    Abstract translation: 一种磁性材料溅射靶,其特征在于,用于观察靶中的氧化物的表面的至少60%由氧化物颗粒构成,使得在目标的观察表面中,氧化物粒子的平均粒径为1.5μm以下, 并且如果最大直径是其间具有最大距离的氧化物颗粒的外周上的两点之间的值,并且最小直径是夹着颗粒之间的最小距离的两条平行直线之间的值,则 最大直径和最小直径之间的差为0.4μm以下。 所得到的具有分散在其中的非磁性材料颗粒的磁性材料溅射靶能够抑制溅射期间产生颗粒的原因的氧化物的异常放电。

    熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置
    8.
    发明申请
    熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 审中-公开
    热辅助磁记录介质和磁存储器件

    公开(公告)号:WO2011021652A1

    公开(公告)日:2011-02-24

    申请号:PCT/JP2010/063963

    申请日:2010-08-19

    Abstract: 基板1と、基板1上に形成された下地層と、該下地層上に形成されたL1 0 構造を有するFePt合金、もしくはL1 0 構造を有するCoPt合金を主成分とする磁性層5とを有する磁気記録媒体において、該下地層が、非晶質合金からなる第1の下地層2と、Crを主成分とし、かつ、Ti、Mo、W、V、Mn、Ruのうちの少なくとも1種類の元素を含有しているBCC構造の合金からなる第2の下地層3と、MgOからなる第3の下地層4から構成される熱アシスト磁気記録媒体及び前記熱アシスト磁気記録媒体を用いた磁気記憶装置を提供する。

    Abstract translation: 提供了一种热辅助磁记录介质,其包括基板(1),形成在基板(1)上的底涂层和形成在底涂层上的磁性层(5),磁性层(5) 具有L10结构的Pt合金或具有L10结构的Co-Pt合金作为主要成分,其中所述底涂层由由非晶合金构成的第一底涂层(2),由第二底涂层(3)构成的第二底涂层 包含Cr作为主要成分并且还含有选自Ti,Mo,W,V,Mn和Ru中的至少一种元素的BCC结构的合金和由MgO构成的第三底涂层(4)。 还提供了包括热辅助磁记录介质的磁存储装置。

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