发明授权
CN100343937C 用于对准针状物的方法以及对准单元
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于对准针状物的方法以及对准单元
- 专利标题（英）： Method for aligning needle or like and aligning unit
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申请号： CN200410090449.8申请日： 2004-11-18
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公开(公告)号： CN100343937C公开(公告)日： 2007-10-17
- 发明人: 鹤冈裕二 , 岩田和夫 , 神代和浩 , 高山秀人 , 瓮英一 , 毛利孝志
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华
- 优先权： 389306/2003 2003.11.19 JP
- 主分类号： H01J1/304
- IPC分类号： H01J1/304 ; H01J9/02 ; H01J29/04 ; C01B31/02 ; H01L21/02 ; H01L21/336
摘要：
本发明提供一种通过将针状物置于形成在衬底中的凹槽内，在凹槽的纵向上容易地对准针状物的方法，以及一种包括对准的针状物的对准单元。
公开/授权文献
- CN1619750A 用于对准针状物的方法以及对准单元 公开/授权日：2005-05-25
