发明授权
CN101246942B 发光二极管和激光器制作方法及发光二极管和激光器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 发光二极管和激光器制作方法及发光二极管和激光器
- 专利标题(英): Light emitting diode and laser and their production method
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申请号: CN200810052484.9申请日: 2008-03-21
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公开(公告)号: CN101246942B公开(公告)日: 2011-04-27
- 发明人: 孟志国 , 吴春亚 , 熊绍珍 , 李娟
- 申请人: 南开大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 专利权人: 南开大学
- 当前专利权人: 南开大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 代理机构: 天津佳盟知识产权代理有限公司
- 代理商 侯力
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01S5/00
摘要:
一种发光二极管和激光器制作方法及发光二极管和激光器,方法是将发光二极管和激光器直接外延生长在单晶硅薄膜石英衬底上或外延生长在沉积有缓冲层的单晶硅薄膜石英衬底上。半导体发光二极管结构有与石英衬底键合单晶硅薄膜;形成在石英衬底上的单晶硅电极层;外延生长在单晶硅电极层上的LED的N层;位于LED的N层上的LED发光层;位于LED的发光层上的LED的P层;形成在P层上的LED顶部电极。半导体激光器结构有与石英衬底键合单晶硅薄膜;形成在石英衬底上的单晶硅电极层;外延生长在单晶硅电极层上的LD的N层;位于LD的N层之上的LD的有源层;位于LD的有源层之上的LD的P层;形成在LD的P层之上的LD的顶部电极。本发明可实现LED和LD器件的底发光,可提高LED和LD的发光效率。
公开/授权文献
- CN101246942A 发光二极管和激光器制作方法及发光二极管和激光器 公开/授权日:2008-08-20