半导体小片的制造方法和场效应晶体管及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种半导体小片的制造方法和场效应晶体管及其制造方法。在用于制造半导体小片的本发明的方法中,首先,通过将牺牲层(11)和半导体层(12)以该顺序反复层叠在基板(10)上,在基板(10)上形成两层以上的半导体层(12)。接着,通过对牺牲层(11)和半导体层(12)的一部分进行蚀刻,将半导体层(12)分割成多个小片。接着,通过除去牺牲层(11),将该小片从基板分离。
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