基板处理装置、基板搬运装置、基板把持装置以及药液处理装置
摘要:
本发明涉及一种能够提高基板处理工序的生产节拍时间的基板处理装置。作为基板处理装置的研磨装置具有:对半导体晶片(W)进行研磨的多个研磨部(3a、3b);和搬运晶片(W)的摆动传送装置(7)。摆动传送装置(7)具有:把持晶片(W)的晶片把持机构(112);使晶片把持机构(112)沿着研磨部(3a)的框体的框架(102)上下移动的上下移动机构(104、106);以及,以与框架(102)邻接的轴为中心使晶片把持机构(112)转动的转动机构(108、110)。
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