- 专利标题: 基板处理装置、基板搬运装置、基板把持装置以及药液处理装置
- 专利标题(英): Substrate treating device, substrate convey device, substrate grasping device, and chemical solution treating device
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申请号: CN200780006392.0申请日: 2007-02-21
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公开(公告)号: CN101390197B公开(公告)日: 2011-02-23
- 发明人: 高桥信行 , 西田弘明 , 鸟居弘臣 , 矶部壮一 , 曾根忠一 , 小菅隆一 , 金子浩之 , 外崎宏 , 三仓崇夫 , 小川贵弘 , 杉田谦一
- 申请人: 株式会社荏原制作所
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈萍
- 优先权: 046002/2006 2006.02.22 JP
- 国际申请: PCT/JP2007/053699 2007.02.21
- 国际公布: WO2007/099976 JA 2007.09.07
- 进入国家日期: 2008-08-22
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304 ; B65G49/07 ; B24B37/04 ; H01L21/677
摘要:
本发明涉及一种能够提高基板处理工序的生产节拍时间的基板处理装置。作为基板处理装置的研磨装置具有:对半导体晶片(W)进行研磨的多个研磨部(3a、3b);和搬运晶片(W)的摆动传送装置(7)。摆动传送装置(7)具有:把持晶片(W)的晶片把持机构(112);使晶片把持机构(112)沿着研磨部(3a)的框体的框架(102)上下移动的上下移动机构(104、106);以及,以与框架(102)邻接的轴为中心使晶片把持机构(112)转动的转动机构(108、110)。
公开/授权文献
- CN101390197A 基板处理装置、基板搬运装置、基板把持装置以及药液处理装置 公开/授权日:2009-03-18