发明授权
- 专利标题： 提取关键工艺参数的方法及系统
- 专利标题（英）： Extraction of key process parameter
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申请号： CN200810181222.2申请日： 2008-11-14
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公开(公告)号： CN101504543B公开(公告)日： 2011-04-20
- 发明人: 林俊贤 , 柯俊成 , 左克伟 , 罗冠腾 , 汪青蓉
- 申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹市
- 专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹市
- 代理机构： 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 章社杲; 吴贵明
- 优先权： 12/026,361 2008.02.05 US
- 主分类号： G05B19/418
- IPC分类号： G05B19/418 ; H01L21/00 ; H01L21/66
摘要：
本发明涉及关键工艺参数的提取，提供了一种系统、方法与计算机可读取媒体，以用来提取与选出的装置参数有关的关键工艺参数。在一实施例中，使用基因地图分析来确定关键工艺参数。基因地图分析包括将高度相关的工艺参数分组，并确定群组与选出的装置参数的相关性。在一实施例中，与选出的装置参数有最大相关性的群组会被显示在相关性矩阵和/或基因地图中。
公开/授权文献
- CN101504543A 关键工艺参数的提取 公开/授权日：2009-08-12