Invention Publication
CN101800150A 高场不对称波形离子迁移管及其制作方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 高场不对称波形离子迁移管及其制作方法
- Patent Title (English): High-filed asymmetrical wave ion transference tube and production method thereof
-
Application No.: CN201010135135.0Application Date: 2010-03-25
-
Publication No.: CN101800150APublication Date: 2010-08-11
- Inventor: 林丙涛 , 陈池来 , 孔德义 , 梅涛 , 李庄 , 郭攀 , 殷世平 , 程玉鹏 , 朱荣华 , 赵聪 , 王电令 , 王焕钦
- Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Applicant Address: 安徽省合肥市西郊科学岛合肥智能机械研究所
- Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市西郊科学岛合肥智能机械研究所
- Agency: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
- Agent 余成俊
- Main IPC: H01J49/26
- IPC: H01J49/26 ; G01N27/62

Abstract:
本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法,高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰,加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上,在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制;制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺,基片采用陶瓷材料,而不是易碎的硼硅玻璃材料,制作方法简单,工艺周期短,成本低,适合大批量生产。
Public/Granted literature
- CN101800150B 高场不对称波形离子迁移管及其制作方法 Public/Granted day:2011-11-23
Information query