高场不对称波形离子迁移管及其制作方法
Abstract:
本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法,高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰,加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上,在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制;制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺,基片采用陶瓷材料,而不是易碎的硼硅玻璃材料,制作方法简单,工艺周期短,成本低,适合大批量生产。
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