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公开(公告)号：CN101504426B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910116228.6
申请日：2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号：CN101800150A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010135135.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法，高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰，加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上，在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制；制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺，基片采用陶瓷材料，而不是易碎的硼硅玻璃材料，制作方法简单，工艺周期短，成本低，适合大批量生产。
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公开(公告)号：CN101504426A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910116228.6
申请日：2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号：CN101800150B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201010135135.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法，高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰，加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上，在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制；制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺，基片采用陶瓷材料，而不是易碎的硼硅玻璃材料，制作方法简单，工艺周期短，成本低，适合大批量生产。
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