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发明公开
CN101990737A 电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法 有权

电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法
摘要：
本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82)，该电极梳具有至少一个电极指，对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a，90a)的第一电极指子单元(88，90)和具有第二中心纵轴线(88a，90a)的第二电极指子单元(88，90)，其中，所述第二中心纵轴线(88a，90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a，90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜，本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。
摘要（英）：

The invention relates to an electrode comb (82) for a micromechanical component, comprising at least one electrode finger, for which a first electrode finger sub-unit (88,90) with a first central longitudinal axis (88a,90a) and a second electrode finger sub-unit (88,90) with a second central longitudinal axis (88a, 90a) can be defined. The second central longitudinal axis (88a,90a) is inclined in relation to the first central longitudinal axis (88a,90a) about an inclination angle (d) not equal to 0 DEG and not equal to 180 DEG . The invention also relates to a micromechanical component provided with said type of electrode comb (82). The invention further relates to a micromechanical component and to a method for producing an electrode comb (82) and to a method for producing a micromechanical component.

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