体引出结构SOI场效应晶体管等效电学模型及建模方法
摘要:
本发明公开了一种体引出结构的SOI场效应晶体管的等效电学模型及其建模方法,该等效电学模型由内部场效应晶体管和外部场效应晶体管并联组成,其中将所述体引出结构SOI场效应晶体管分为体引出部分和主体部分,内部场效应晶体管代表体引出部分的寄生晶体管,外部场效应晶体管代表主体部分的正常晶体管。本发明提出的等效电学模型完整地包括了体引出结构SOIMOSFET器件物理结构的各个部分,即体引出部分和主体部分对其电学特性的影响,提高了模型对器件电学特性的拟合效果。
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