一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法
摘要:
本发明提出一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法,包括(1)在蓝宝石衬底上依次外延生长N-GaN层、多量子阱有源区和P-GaN层,形成GaN基LED外延结构片;(2)对纳米压印硬模板进行防粘处理;(3)制备具有与所述硬模板互补图案的软模板;(4)在外延结构片上分别蒸镀掩膜层和纳米压印紫外胶层;(5)紫外压印经蒸镀处理后的器件,脱模,形成具有光子晶体的图案片;(6)刻蚀所述图案片,进行后续处理即可制得光子晶体LED。本发明利用纳米压印紫外胶层和蒸镀掩膜层相结合作为掩膜,能够克服GaN外延片表面不平整而导致压印困难的问题,从而使光子晶体的有效孔深更大。
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