发明授权
CN102157643B 一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法
- 专利标题(英): Method for preparing GaN-based photonic crystal LED based on nanoimprint lithography
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申请号: CN201110087571.X申请日: 2011-04-08
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公开(公告)号: CN102157643B公开(公告)日: 2012-09-26
- 发明人: 李程程 , 徐智谋 , 刘文 , 孙堂友 , 吴小锋 , 徐晓丽
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李佑宏
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/32 ; G03F7/00
摘要:
本发明提出一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法,包括(1)在蓝宝石衬底上依次外延生长N-GaN层、多量子阱有源区和P-GaN层,形成GaN基LED外延结构片;(2)对纳米压印硬模板进行防粘处理;(3)制备具有与所述硬模板互补图案的软模板;(4)在外延结构片上分别蒸镀掩膜层和纳米压印紫外胶层;(5)紫外压印经蒸镀处理后的器件,脱模,形成具有光子晶体的图案片;(6)刻蚀所述图案片,进行后续处理即可制得光子晶体LED。本发明利用纳米压印紫外胶层和蒸镀掩膜层相结合作为掩膜,能够克服GaN外延片表面不平整而导致压印困难的问题,从而使光子晶体的有效孔深更大。
公开/授权文献
- CN102157643A 一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法 公开/授权日:2011-08-17
IPC分类: