发明授权
- 专利标题: 电子器件的制造方法及电子器件
- 专利标题(英): Manufacturing method of electronic element and electronic element
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申请号: CN201110161450.5申请日: 2011-06-02
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公开(公告)号: CN102271470B公开(公告)日: 2014-09-03
- 发明人: 野宫正人 , 平川长规 , 长野高之 , 西出充良
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 张鑫
- 优先权: 2010-127944 2010.06.03 JP
- 主分类号: H05K3/42
- IPC分类号: H05K3/42 ; H05K1/11
摘要:
本发明的树脂基板、内置电子元器件的树脂基板、内置有电子元器件的电子元器件等电子器件的制造方法,可靠地进行导电通路与内部的连接用电极的接合。另外,简易形成这样的导电通路。电子器件的制造方法包括:准备形成有连接用电极(1a)的布线基板(2)的工序;在连接用电极(1a)上形成柱状虚设体(4a)的工序;在布线基板(2)的主面形成树脂层(5)来埋设柱状虚设体(4a)的工序;使用树脂层(5)难以溶解但柱状虚设体(4a)可以溶解的药液来溶解埋设在树脂层(5)的柱状虚设体(4a)、在树脂层(5)形成与柱状虚设体近似相同形状的空孔(6a)的工序;以及向空孔(6a)内填充导电成分、形成导电通路(7a)的工序。
公开/授权文献
- CN102271470A 电子器件的制造方法及电子器件 公开/授权日:2011-12-07