本发明提供一种硅基喷头电极，其中后部嵌入部设置在沿着电极的后部形成的后部凹陷内。后部嵌入部包括螺纹外径、螺纹内径和形成于螺纹内径内的工具啮合部。工具啮合部形成以使该后部嵌入部进一步包括一个或多个位于工具啮合部和螺纹外径之间的侧面防护部以防止与后部嵌入部的工具啮合部啮合的工具延伸超出该嵌入部的螺纹外径。进一步地，后部嵌入部的工具啮合部包括多个沿着后部嵌入部的转轴线布置的转矩接收槽。该转矩接收槽通过相对成对的转矩接收槽避免同轴转动的方式布置。