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公开(公告)号：CN101896637A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200880121177.X
申请日：2008-09-09
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC分类号： C23C16/00 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN101896637B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200880121177.X
申请日：2008-09-09
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC分类号： C23C16/00 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN102766855B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210273737.1
申请日：2008-09-09
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN102356700B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201080012058.8
申请日：2010-03-15
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H05H1/34 , H01L21/3065 , H01L21/203 , H01L21/205 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 本发明提供一种硅基喷头电极，其中后部嵌入部设置在沿着电极的后部形成的后部凹陷内。后部嵌入部包括螺纹外径、螺纹内径和形成于螺纹内径内的工具啮合部。工具啮合部形成以使该后部嵌入部进一步包括一个或多个位于工具啮合部和螺纹外径之间的侧面防护部以防止与后部嵌入部的工具啮合部啮合的工具延伸超出该嵌入部的螺纹外径。进一步地，后部嵌入部的工具啮合部包括多个沿着后部嵌入部的转轴线布置的转矩接收槽。该转矩接收槽通过相对成对的转矩接收槽避免同轴转动的方式布置。
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公开(公告)号：CN102766855A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210273737.1
申请日：2008-09-09
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN102356700A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201080012058.8
申请日：2010-03-15
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H05H1/34 , H01L21/3065 , H01L21/203 , H01L21/205 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
摘要： 提供一种硅基喷头电极，其中后部嵌入部设置在沿着电极的后部形成的后部凹陷内。后部嵌入部包括螺纹外径、螺纹内径和形成于螺纹内径内的工具啮合部。工具啮合部形成以使该后部嵌入部进一步包括一个或多个位于工具啮合部和螺纹外径之间的侧面防护部以防止与后部嵌入部的工具啮合部啮合的工具延伸超出该嵌入部的螺纹外径。进一步地，后部嵌入部的工具啮合部包括多个沿着后部嵌入部的转轴线布置的转矩接收槽。该转矩接收槽通过相对成对的转矩接收槽避免同轴转动的方式布置。
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