基于微动元调制GaNHEMT沟道电流的红外探测器
摘要:
本发明用于半导体光电子信息技术领域,具体涉及一种基于微动元调制GaN HEMT沟道电流的红外探测器。其特征在于:所述探测器的结构依次包括:GaN/AlGaN HEMT器件,微动元件,光波吸收辅助层,充气腔,衬底,吸收光波气体,窗口层;微动元件与HEMT沟道连接,充气腔内的吸收光波气体和光波吸收辅助层吸收光波后,发生形变,推动微动元件位移,微动元件的位移诱导GaN HEMT沟道电流变化,使光波信号转变成电信号被探测。本发明实现GaN基力-电耦合红外探测器的高灵敏性和高可靠性。
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