- 专利标题: 基于微动元调制GaNHEMT沟道电流的红外探测器
- 专利标题(英): Jogging element-based infrared detector for modulating GaN HEMT channel current
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申请号: CN201210130399.6申请日: 2012-04-27
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公开(公告)号: CN102636261A公开(公告)日: 2012-08-15
- 发明人: 朱彦旭 , 曹伟伟 , 郭伟玲 , 徐晨
- 申请人: 北京工业大学
- 申请人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 刘萍
- 主分类号: G01J1/42
- IPC分类号: G01J1/42
摘要:
本发明用于半导体光电子信息技术领域,具体涉及一种基于微动元调制GaN HEMT沟道电流的红外探测器。其特征在于:所述探测器的结构依次包括:GaN/AlGaN HEMT器件,微动元件,光波吸收辅助层,充气腔,衬底,吸收光波气体,窗口层;微动元件与HEMT沟道连接,充气腔内的吸收光波气体和光波吸收辅助层吸收光波后,发生形变,推动微动元件位移,微动元件的位移诱导GaN HEMT沟道电流变化,使光波信号转变成电信号被探测。本发明实现GaN基力-电耦合红外探测器的高灵敏性和高可靠性。
公开/授权文献
- CN102636261B 基于微动元调制GaNHEMT沟道电流的红外探测器 公开/授权日:2014-05-21