- 专利标题： 主动露点感测和载荷锁定排气以避免在工件上凝结
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申请号： CN201180026216.X申请日： 2011-05-26
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公开(公告)号： CN102918621B公开(公告)日： 2015-11-25
- 发明人: 威廉·李
- 申请人： 艾克塞利斯科技公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人： 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李江晖
- 优先权： 61/349,547 2010.05.28 US
- 国际申请： PCT/US2011/000948 2011.05.26
- 国际公布： WO2011/149542 EN 2011.12.01
- 进入国家日期： 2012-11-27
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317 ; H01J37/18 ; H01J37/02
摘要：
本发明公开一种用于避免离子植入系统的端部站中的工件上的凝结的系统、装置和方法。工件在第一环境中被冷却，并且被转移至载荷锁定室，载荷锁定室分别地与端部站和第二环境选择性地流体连通。工件温度监测装置配置成用于测量在载荷锁定室中的工件的温度。外部监测装置测量第二环境中的温度和相对湿度，并且控制器配置成在工件从载荷锁定室转移至第二环境时工件上不会形成凝结的工件的温度。
公开/授权文献
- CN102918621A 主动露点感测和载荷锁定排气以避免在工件上凝结 公开/授权日：2013-02-06
