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公开(公告)号：CN101563770A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200780046690.2
申请日：2007-11-30
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833
摘要： 本发明公开了一种用于抓持工件的静电夹具(ESC)、系统和方法。ESC的抓持板具有中心盘和围绕中心盘的环状物，其中，中心盘从环状物以间隙距离凹进，在其中限定容积。背侧气体输送孔定位于为最接近环状物与中心盘之间的界面。加到环状物的第一电极的第一电压抓持工件的周边区域到第一层。加到中心盘的第二电极的第二电压大致上补偿在容积内的背侧气体的压力。ESC可由J－R型或库伦型材料构成。与抓持板相关联连的冷却板还由设置为用于从中输送冷却流体的一个或更多冷却通道提供冷却。
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公开(公告)号：CN103460335B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201180013955.5
申请日：2011-03-16
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20214 , H01J2237/2065 , H01J2237/31701 , H01L21/67109
摘要： 本发明涉及利用蒸汽压缩冷却系统的离子注入系统。在一个实施例中，在蒸汽压缩系统中的热控制器依照理想蒸汽压缩循环发送制冷剂流体通过压缩机和冷凝器，以帮助限制或防止在注入期间工件不期望的加热，或者主动冷却所述工件。
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公开(公告)号：CN102918621B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180026216.X
申请日：2011-05-26
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 威廉·李
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/185 , H01J2237/006 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/24585
摘要： 本发明公开一种用于避免离子植入系统的端部站中的工件上的凝结的系统、装置和方法。工件在第一环境中被冷却，并且被转移至载荷锁定室，载荷锁定室分别地与端部站和第二环境选择性地流体连通。工件温度监测装置配置成用于测量在载荷锁定室中的工件的温度。外部监测装置测量第二环境中的温度和相对湿度，并且控制器配置成在工件从载荷锁定室转移至第二环境时工件上不会形成凝结的工件的温度。
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公开(公告)号：CN103460335A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201180013955.5
申请日：2011-03-16
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20214 , H01J2237/2065 , H01J2237/31701 , H01L21/67109
摘要： 本发明涉及利用蒸汽压缩冷却系统的离子注入系统。在一个实施例中，在蒸汽压缩系统中的热控制器依照理想蒸汽压缩循环发送制冷剂流体通过压缩机和冷凝器，以帮助限制或防止在注入期间工件不期望的加热，或者主动冷却所述工件。
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公开(公告)号：CN101563770B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200780046690.2
申请日：2007-11-30
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833
摘要： 本发明公开了一种用于抓持工件的静电夹具(ESC)、系统和方法。ESC的抓持板具有中心盘和围绕中心盘的环状物，其中，中心盘从环状物以间隙距离凹进，在其中限定容积。背侧气体输送孔定位于为最接近环状物与中心盘之间的界面。加到环状物的第一电极的第一电压抓持工件的周边区域到第一层。加到中心盘的第二电极的第二电压大致上补偿在容积内的背侧气体的压力。ESC可由J-R型或库伦型材料构成。与抓持板相关联连的冷却板还由设置为用于从中输送冷却流体的一个或更多冷却通道提供冷却。
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公开(公告)号：CN104685604B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201380041167.6
申请日：2013-10-02
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01L21/67 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及一种离子注入系统，该系统向置于冷却夹盘上的处理腔室的真空环境中的工件提供离子。处理腔室内的预冷站具有配置成将工件冷却至第一温度的冷却的工件支撑件，处理腔室内的后热站具有配置成将工件加热至第二温度的加热的工件支撑件。第一温度低于处理温度，第二温度高于外部温度。工件传送臂进一步配置成在夹盘、装载锁定腔室、预冷站及后热站中的两个或两个以上构件之间同时传送两个或两个以上工件。
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公开(公告)号：CN102947916B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180026469.7
申请日：2011-05-26
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214
摘要： 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。
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公开(公告)号：CN104685604A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380041167.6
申请日：2013-10-02
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/204 , H01J2237/31705 , H01L21/67109 , H01L21/67201 , H01L21/67213 , H01L21/67742 , H01L21/67766
摘要： 本发明涉及一种离子注入系统，该系统向置于冷却夹盘上的处理腔室的真空环境中的工件提供离子。处理腔室内的预冷站具有配置成将工件冷却至第一温度的冷却的工件支撑件，处理腔室内的后热站具有配置成将工件加热至第二温度的加热的工件支撑件。第一温度低于处理温度，第二温度高于外部温度。工件传送臂进一步配置成在夹盘、装载锁定腔室、预冷站及后热站中的两个或两个以上构件之间同时传送两个或两个以上工件。
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公开(公告)号：CN104380428A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380028481.0
申请日：2013-05-24
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/185 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/31701
摘要： 本发明涉及一种离子注入系统(101)，该系统向置于低于环境温度夹盘(130)上的处理腔室(122)的处理环境(126)中的工件(118)提供离子(112)。具有中间环境(138)的中间腔室(136)与外部环境(132)流体连通并具有用于冷却和加热工件(118)的冷却站(140)及加热站(142)。在处理腔室(122)与中间腔室(136)之间提供装载锁定腔室(150)，以使处理环境(126)与中间环境(138)隔离。正压源(166)在中间腔室(136)内提供干气(168)，中间腔室(136)的露点低于中间腔室外部环境(132)的露点。正压源通过自中间腔室流向外部环境的干气流而使中间环境与外部环境隔离。
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公开(公告)号：CN102918629A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201180026329.X
申请日：2011-05-26
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831 , B23B31/28 , H01L21/67103 , H01L21/6833 , Y10T29/49117 , Y10T279/23
摘要： 本发明公开一种用于选择用于形成静电夹持装置的材料的装置和方法。静电夹持装置具有背板，背板具有第一热膨胀系数，其中背板对静电夹持装置提供结构性支撑和刚性。静电夹持装置进一步具有夹持板，夹持板具有与接触工件相关的夹持表面，其中夹持板具有与其相关的第二热膨胀系数。夹持板被结合、连接或生长在背板上，其中夹持板的微小偏转在预定温度范围上是明显的。第一热膨胀系数和第二热膨胀系数例如是大致相似，并且以不大于3的因子变化。
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