SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法
摘要:
本发明提供一种易于向SiC晶种附近供给碳的SiC单晶体的制造装置。在将感应加热装置使电磁波向坩埚侧壁浸透的浸透深度设为D1(mm),将感应加热装置使电磁波向SiC溶液浸透的浸透深度设为D2(mm),将坩埚侧壁的厚度设为T(mm),将坩埚的内半径设为R(mm)时,控制装置控制感应加热装置,以使得在感应加热装置中流动的交流电流的频率f满足式(1)。(D1-T)×D2/R>1(1)在此,D1由式(2)定义,D2由式(3)定义。D1=503292×(1/(f×σc×μc))1/2(2)D2=503292×(1/(f×σs×μs))1/2(3)在此,σc是侧壁的导电率(S/m),σs是SiC溶液的导电率(S/m)。μc是侧壁的相对磁导率(无量纲量),μs是SiC溶液的相对磁导率(无量纲量)。
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