- 专利标题: SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法
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申请号: CN201180062930.4申请日: 2011-12-26
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公开(公告)号: CN103282559B公开(公告)日: 2016-03-02
- 发明人: 冈田信宏 , 龟井一人 , 楠一彦 , 矢代将齐 , 森口晃治 , 大黑宽典 , 铃木宽 , 石井伴和 , 坂元秀光 , 加渡干尚 , 河合洋一郎
- 申请人: 新日铁住金株式会社 , 丰田自动车株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 新日铁住金株式会社,丰田自动车株式会社
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权: 2010-289345 2010.12.27 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/080098 2011.12.26
- 国际公布: WO2012/090946 JA 2012.07.05
- 进入国家日期: 2013-06-26
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B15/00
摘要:
本发明提供一种易于向SiC晶种附近供给碳的SiC单晶体的制造装置。在将感应加热装置使电磁波向坩埚侧壁浸透的浸透深度设为D1(mm),将感应加热装置使电磁波向SiC溶液浸透的浸透深度设为D2(mm),将坩埚侧壁的厚度设为T(mm),将坩埚的内半径设为R(mm)时,控制装置控制感应加热装置,以使得在感应加热装置中流动的交流电流的频率f满足式(1)。(D1-T)×D2/R>1(1)在此,D1由式(2)定义,D2由式(3)定义。D1=503292×(1/(f×σc×μc))1/2(2)D2=503292×(1/(f×σs×μs))1/2(3)在此,σc是侧壁的导电率(S/m),σs是SiC溶液的导电率(S/m)。μc是侧壁的相对磁导率(无量纲量),μs是SiC溶液的相对磁导率(无量纲量)。
公开/授权文献
- CN103282559A SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 公开/授权日:2013-09-04
IPC分类: