一种宽光谱高透过、高绒度和低电阻的透明导电薄膜及其制备方法
摘要:
一种宽光谱高透过、高绒度和低电阻的透明导电薄膜及其制备方法。该方法在ZnO薄膜表面沉积一层Al覆盖层,在高温下对薄膜进行退火处理,经过湿法腐蚀工艺处理后得到形成具有高电导、高透过率、宽光谱陷光的透明导电氧化锌薄膜材料。本发明所述氧化锌为掺杂半导体,如ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:B、ZnO:Mo、ZnO:W,n型半导体材料,可应用于非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜的单结及多结太阳电池。
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