集成电路封装及其形成方法

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专利标题： 集成电路封装及其形成方法
申请号： CN201210377778.5

申请日： 2012-10-08
公开(公告)号： CN103515314B

公开(公告)日： 2016-03-30
发明人: 杜家玮 , 郭彦良 , 吕文雄 , 陈宪伟 , 蔡宗甫
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址： 中国台湾新竹
专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
当前专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
当前专利权人地址： 中国台湾新竹
代理机构： 北京德恒律治知识产权代理有限公司
代理商 章社杲; 孙征
优先权： 13/529,179 2012.06.21 US
主分类号： H01L21/78
IPC分类号： H01L21/78 ; H01L21/56 ; H01L23/31

摘要：

本发明涉及集成电路封装及其形成方法，该方法包括：在晶片的衬底上方形成电连接件；然后形成聚合物层，其中，至少部分电连接件形成在该聚合物层中。执行第一锯切步骤从而在该聚合物层中形成沟槽。第一锯切步骤完成后，执行第二锯切步骤从而将晶片锯切成多个管芯。

摘要（英）：

A method includes forming an electrical connector over a substrate of a wafer, and molding a polymer layer, with at least a portion of the electrical connector molded in the polymer layer. A first sawing step is performed to form a trench in the polymer layer. After the first sawing step, a second sawing step is performed to saw the wafer into a plurality of dies.

公开/授权文献

CN103515314A 集成电路封装及其形成方法公开/授权日：2014-01-15

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70	.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77	..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78	...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）